판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9174767

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 등각, 핀홀 프리, 고품질 박막 증착을 위해 특별히 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 반도체· 태양광 산업에서 로직· 메모리 칩· 트랜지스터· 태양전지 등 다양한 박막 (Thin Film) 장치를 생산하는 데 널리 사용된다. AMAT CENTURA는 단일 챔버, 4 개의 챔버 및 2 개의 챔버 공정 도구의 두 가지 일반 구성으로 제공됩니다. 그것 은 이중 벽 "쿼츠 '챔버' 설계 로 만들어졌으며, 광범위 한 온도 의 재료 를 효율적 으로 가공 할 수 있게 해 준다. 첫 번째 층은 2 ~ 3 밀리미터의 두께와 2 ~ 3 밀리미터의 추가 열 절연으로 만들어진 외벽이있는 코닝 7740 (Corning 7740) 석영으로 구성됩니다. 따라서 외부 환경에서 최대 열효율과 단열성을 얻을 수 있습니다. 응용 재료 센츄라는 미분 대기 압력 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 로드 잠금, 전송 및 고온 프로세스를위한 뛰어난 턴테이블 (turntable) 설계가 있습니다. 턴테이블은 수평으로 180 ° 이동할 수 있으므로 프로세스 도구를 쉽게 이동, 재배치할 수 있습니다. CENTURA는 또한 수소, 아르곤, 질소, 산소를 포함한 광범위한 공정 가스를 제공합니다. 사용 가능한 압력 및 온도 범위는 각각 20-1200 밀리바와 300-1200 ° C입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA의 고성능 기능은 고급 기능 때문입니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface: 그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있어 사용이 쉽고 씬 필름을 효율적으로 제작할 수 있습니다. 또한, 매우 정밀한 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 갖추고 있으며, 프로세스 데이터를 정확하게 기록하고 분석할 수 있습니다. AMAT CENTURA는 고품질 박막 부품을 제작하는 데 적합합니다. 듀얼 월 쿼츠 챔버 디자인은 높은 수준의 재생성과 반복 성을 보장합니다. 또한, 광범위한 공정 가스, 압력, 온도는 다양한 박막 생산 응용 분야에 이상적인 도구가됩니다. 마지막으로, 직관적인 GUI 및 프로세스 모니터링/제어를 통해 박막 (Thin Film) 의 품질과 일관성을 보장하는 안정적이고 안전한 툴이 됩니다.