판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9166445

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ID: 9166445
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 주로 첨단, 고성능 및 고밀도 집적 회로의 생산에 사용되는 고급, 고성능 반도체 증착 도구입니다. 이 도구는 높은 진공 처리를 사용하여 혁신적인 동적 제어 프로세스 (dynamic control process) 를 사용하여 원하는 재료 레이어를 기판에 배치합니다. AMAT CENTURA 원자로는 소스 재료 라인을 사용하여 유전체, 질화물, 금속 산화물 등 원하는 물질을 기질의 여러 위치에 배치합니다. 소스 재료 의 "라인 '은" 컨테이너' 혹은 벌크 탱크 '에 저장 되는데, 이 "탱크' 로부터 증착 과정 중 에 기판 에 균일 한 재료 가 공급 된다. 또한, 이 도구는 증착의 균일성 향상과 기능 해상도 향상의 이점을 제공합니다. 응용 재료 센츄라 원자로 (APPLIED MATERIALS CENTURA REactor) 는 높은 수준의 유연성을 제공하여 다양한 기판, 재료 및 공정을 증착 할 수 있도록 설계되었습니다. 기판의 온도 범위 (temperature range), 압력 범위 (pressure range), 크기 (size) 와 같은 다양한 구성에 맞게 조정할 수 있습니다. 다양한 고급 기능을 제공하여 프로세스 자동화, 프로세스 매개변수 (parameter) 의 정확한 모니터링, 효율적이고 안정적인 운영을 지원합니다. 원자로에는 온도 및 압력 모니터링, 기판 증착 분석, 표면 특성, 이미지 분석, 고급 장비 진단 등 자세한 프로세스 특성 데이터를 제공하기 위해 다양한 진단 도구가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있고, 높은 수준의 안정성을 얻을 수 있습니다. 센츄라 (CENTURA) 원자로는 혁신적인 공정 제어 시스템을 제공하여 최고 수준의 품질과 신뢰성을 보장합니다. 이 장치는 탁월한 실시간 프로세스 모니터링 (real-time process monitoring) 과 자동화된 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공합니다. 또한, 이 기계는 다양한 응용 프로그램 개발 툴과 자사의 고급 독점 프로세스 제어 (Proprietary Process Control) 기술을 지원합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 강력한 고급 증착 도구로, 첨단 기술, 고성능 및 고밀도 집적 회로의 증착을위한 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구에는 유연한 기판 처리, 프로세스 자동화, 프로세스 특성, 고급 프로세스 제어 등 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 또한 이 툴은 포괄적인 진단 패키지 (diagnostic package) 를 제공하여 상세한 모니터링 및 프로세스 튜닝을 지원합니다.
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