판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9155625
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 장비는 반도체 처리에 사용되는 고급 배치 공정 원자로입니다. 이 시스템은 열/증착 제어 (Full Thermal and Deposition Control) 기능을 통해 전체 제작 프로세스에 대한 프로세스 안정성과 정확한 제어를 가능하게 합니다. AMAT CENTURA 장치에는 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있어, 최고의 정확성과 반복 기능을 제공합니다. 즉, 프로세스 조정 (process adjustment) 을 즉시 수행할 수 있으므로 프로세스 매개변수를 최적으로 제어할 수 있습니다. 이 기계는 프로세스 엔지니어가 프로세스 조건을 정확하게 예측하고 설정할 수 있도록 하는 포괄적인 소프트웨어 도구 (software tools) 를 포함하고 있으며, 프로세스 타임라인을 정확하게 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA 도구는 고급 난방 메커니즘을 사용하여 정확한 열 처리를 달성합니다. 여기에는 대류 기반 가열 주변 가스 헤드 스페이스, 전자 동력 외부 가열 요소 및 DC 가열 레이저 지원 챔버가 포함됩니다. 가스 헤드 스페이스 (gas headspace) 는 자산이 전체 프로세스에 대한 압력 제어를 유지하도록 설계되었습니다. 외부 가열 요소는 정밀한 열 균형을 유지하여 최적의 열 성능을 제공합니다. 가열 된 레이저 지원 챔버 (heated laser support chamber) 는 매우 정밀한 증착 공정에 대한 레이저 공정 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. CENTURA 모델은 광범위한 표준 및 옵션 기능을 제공하여 최적의 성능을 보장합니다. 여기에는 크고 쉽게 액세스 할 수있는 웨이퍼 처리 장비가 포함되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 와 기판을 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 이온 이식 프로세스 동안 추가 정확성을 제공하기 위해 이중 소스 이온 소스가 포함되어 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 장치에는 고속 개방형 RF 및 DC 스퍼터링 소스가 있어 초고해상도 레이어를 갖춘 고급 증착 프로세스가 가능합니다. AMAT CENTURA 기계는 사용자 정의가 가능하여 프로세스 엔지니어 (process engineer) 와 과학자들이 필요한 정확한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 제품은 다양한 환경에 손쉽게 적응할 수 있어, 신규/기존 반도체 제작 설비에 적합한 솔루션입니다. 이 도구에는 다양한 안전 메커니즘 (Safety Mechanism) 이 포함되어 있으며, 인원과 자산 자체의 안전을 보장합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA 모델은 반도체 프로세싱에서 가장 높은 수준의 정밀도 및 반복성을 충족하도록 설계된 고급 배치 공정 (batch process) 원자로입니다. 최첨단 기능을 통해 정밀한 열/증착 제어를 통해 프로세스 엔지니어가 최적의 프로세스 성능을 달성할 수 있습니다. 고속 개방형 RF 및 DC 스퍼터링 소스와 결합 된 고급 난방 및 냉각 메커니즘은이 장비를 반도체 제조 시설에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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