판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9116528

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 재료 증착 시스템입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer) 표면에 박막 재료를 배치하여 회로, 트랜지스터 및 집적 회로의 다른 중요한 구성 요소를 형성하는 데 사용됩니다. AMAT CENTURA 원자로는 수평 웹 스피너, 플라즈마 발전기 및 발전기 마운트, 플라즈마 전원 공급 장치, 진공 챔버 및 로드 록을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 수평 웹 스피너 (horizontal web spinner) 는 얇은 반도체 웹 (thin semiconductor web) 을 회전시킵니다. 진공실 내부에서 웹은 고급 플라즈마 기반 공정을 사용하여 박막 재료로 코팅됩니다. 플라즈마 생성기는 아르곤 (Argon), 질소 (Nitrogen) 및 산소 (Oxygen) 원자의 플라즈마를 생성하여 높은 온도와 압력으로 웹으로 향합니다. 그러면 플라스마의 음이온이 웹의 재료와 상호 작용하여 박막 (thin-film) 레이어를 생성합니다. 반응성 "가스 '와 작동 조건 에 따라, 박막 층 에서 증착, 산화, 합금 과 같은 과정 을 수행 할 수 있다. 플라즈마 생성기는 또한 오존 (ozone) 또는 고 에너지 플라즈마 (high-energy plasma) 로 웹을 처리하여 웨이퍼 표면을 청소하고 박막 레이어를 적용하거나 적용하기 전에 외부 입자 또는 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. "플라즈마 '는 또한 공정 제어 면 에서도 대단 한 유연성 을 가지고 있으며, 여러 방향 으로" 단계' 를 수행 하는 데 사용 될 수 있다. 이를 통해 보다 정확한 프로세스 제어가 가능하며, 이는 디바이스 제작에 매우 중요합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA (APPLIED MATERIALS CENTURA) 원자로에는 전원 설정, 가스 흐름, 진공 설정 등 프로세스의 매개변수를 조정하여 원하는 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있는 정교한 ControlLogix 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한 사용자가 결과를 분석하고 발생할 수 있는 모든 문제를 해결할 수 있도록 프로세스의 데이터를 기록합니다 (영문). 센츄라 원자로 (CENTURA Reactor) 는 반도체 장치 제조에 유용한 도구로서, 더 넓은 정밀도, 높은 처리량, 더 빠른 처리 속도를 가능하게 합니다. 첨단 기술과 공정 제어 (Process Control) 기능을 통해 반도체 제조업의 핵심 구성 요소가되었습니다.