판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9116525

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
ID: 9116525
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
IPS System, 8" (3) Chambers 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 실리콘 반도체 제조에 사용되는 반도체 원자로입니다. 제조 및 제작 프로세스에 일반적으로 사용되는 AMAT CENTURA는 고성능, 고품질 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 견고하고, 안정적이며, 비용 효율적인 반도체 생산 스테이션으로, 특히 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 과 같은 고급 리소그래피 단계에 적합합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA는 패턴 전송, 증착, 에치, 청소 등 다양한 고급 리소그래피 프로세스를 제공합니다. 비디오 모니터, 커스터마이징 가능한 논리적 제어, 여러 계층의 웨이퍼 제어 (wafer control) 등 고급 엔지니어링 툴이 장착되어 있습니다. 또한, CENTURA는 추가 하드웨어 및 소프트웨어를 사용하여 쉽게 업그레이드 할 수있는 어댑터블 (Adaptable) 플랫폼입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA에는 기판 단계, 가스의 소스 또는 소스, 백사이드 배기 및 압력 제어와 같은 컴포넌트가 포함 된 챔버 구성이 있습니다. 기판 단계 시스템 (Substrate Stage System) 은 로드 잠금 기능 외에도 다양한 크기, 두께, 유형의 기판을 수용하는 데 사용됩니다. 또한 AMAT CENTURA는 플라즈마 불안정 감지, 기판 오정 조정, 플라즈마 로딩, 균일성, 멸종 측정 등과 같은 기능을 포함한 통합 시스템 진단을 제공합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA의 내부는 균일 한 온도 환경을 위해 쿼츠 라인 상단이있는 단일 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 입니다. 센츄라 (CENTURA) 는 첨단 엔지니어링 기능 외에도 표준 환경에서 작동하므로 편리하고 효율적으로 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 최고의 품질 (Quality) 요구 사항을 충족하기 위해 여러 레벨의 사용자 정의 (customization) 를 운영 프로세스에 적용할 수 있습니다. 예를 들어, AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 고급 소프트웨어를 사용하여 패턴 전송, 증착 및 에칭 쉐이핑, 라인 에지 균일성, 금속 로딩 및 비정상 탐지를 보장합니다. AMAT CENTURA는 또한 다양한 생산 프로세스를 달성하기 위해 맞춤형 논리 제어 및 자동화 기능을 제공합니다. 또한, 자동 (automated) 시스템에 사용하여 생산 시 운영자 오류를 줄이고 균일 한 품질 관리 (quality control) 를 점검할 수 있습니다. 응용 재료 CENTURA 원자로는 모든 반도체 생산 라인에 귀중한 추가 물입니다. 고급/신뢰성 있는 이 툴은 고급 엔지니어링 기능과 완벽한 프로세스 제어를 제공합니다. 생산성 향상, 품질 관리 (Quality Control) 향상, 사용과 업그레이드가 용이합니다. 강력하고 직관적인 엔지니어링 인터페이스 (engineering interface) 와 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 기능을 통해 모든 운영 프로세스에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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