판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9065058

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 반도체 장치 제조를위한 매우 효율적인 도구입니다. 칩, 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 대용량 양산을 위해 설계되었습니다. 증착, 에칭 및 이온 이식 애플리케이션에 대한 광범위한 기능을 제공합니다. AMAT CENTURA 원자로는 단일 웨이퍼 또는 일괄 처리에 사용할 수있는 고급 대규모 전자 장비입니다. 뛰어난 공정 정확성과 균일성을 달성 할 수있는 강력하고, 고온, 고압, 고진공 공정 챔버가 특징입니다. 이 시스템은 신뢰성이 높아 +/-1 ° C의 높은 정밀도 온도 제어를 제공하여 결함률이 낮습니다. 원자로는 또한 고도로 자동화되어 있으며, 특정 증착, 에칭 및 이온 이식 공정에 대해 프로그래밍 될 수있다. 응용 재료 CENTURA 원자로는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 주 챔버에는 RF (무선 주파수) 플라즈마 소스와 열 소스가 장착되어 있으며, 둘 다 RIE (reactive ion etching) 프로세스에 사용됩니다. RF 소스는 레이저 제거 및 높은 정밀도로 회로의 에칭을 가능하게합니다. 열 공급원 은 "에칭 '과정 중 에 약실 내 의 일정 한 온도 수준 을 유지 한다. 원자로는 또한 하중 잠금 (load lock) 과 냉동 펌프 (cryopumps) 를 특징으로하며, 이 과정에서 높은 진공 수준을 유지합니다. CENTURA 원자로는 또한 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 를 특징으로하여 가스 및 액체를 반응 챔버로 정확하게 전달 할 수있다. 이 시스템은 사용자 인터페이스를 사용하여 제어 및 모니터링할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로에는 진공 매니 폴드, 릴레이 멧돼지 및 압력 토플록이 포함되어 있으므로 여러 기판을 동시에 원활하게 처리 할 수 있습니다. AMAT CENTURA 원자로에는 최첨단 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있어 운영자의 안전성과 제품의 신뢰성이 유지됩니다. 원자로에는 전기적· 물리적 보안시스템과 신속하고 안전한 종료를 위한 비상스톱 (Emergency Stop) 버튼이 장착돼 있다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 효율적이고 정확한 반도체 장치 제작을 가능하게하도록 설계되었습니다. 다양한 고급 기능과 기술을 제공하여 증착, 에칭, 이온 이식 응용프로그램을 위한 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 원자로는 단일 웨이퍼 (single-wafer) 와 배치 처리 (batch processing) 모두에 적합하며, 작동 중 최대 안전성과 신뢰성을 보장하는 정교한 안전 기능이 장착되어 있습니다.