판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9057368

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ™ 원자로는 광범위한 반도체 프로세스를 위한 고성능, 유연성, 비용 효율적인 에치 도구입니다. 고급 설계 및 독점 기술을 통해 AMAT CENTURA 원자로는 최대 처리량 및 정밀 에칭을 제공 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA는 다양한 생산 요구를 충족하기 위해 다양한 챔버 구성을 처리하도록 설계되었습니다. CENTURA 원자로에는 x 및 y 직교 정렬, 속도, 가속, 힘 감지 등의 여러 동작 매개변수를 포함하는 고급 선형 동작 드라이브가 장착되어 있습니다. 이 강력한 드라이브는 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA가 높은 처리량을 달성하고 유지할 수있는 것입니다. 단일 세포 정전기 척 (ESC) 설계는 최소 압력 보류를 허용하여 전자 온도를 최적화하여 처리량을 높입니다. AMAT CENTURA 원자로에는 최첨단 가스 전달 장치 및 제어 시스템 (Control System) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 정확한 에치 균일성으로 최적의 제거 및 에칭 속도를 얻을 수 있습니다. 유전체 격리 기술은 웨이퍼 가열을 최소화하고 빠른 가열과 냉각 (cool down) 을 제공하여 처리량 및 균일성을 더욱 향상시킵니다. APPLIED MATERIALS CENTURA는 풀 뷰, 색조 뷰포트, 내부 로봇으로 설계되어 손쉬운 웨이퍼 로드/언로드, 안전성 향상, 다용도 및 처리량을 제공합니다. 또한 CENTURA 원자로에는 웨이퍼 스케일링, 오리엔테이션 및 처리와 같은 많은 웨이퍼 처리 기능이 있으며 압력, 온도, 전력, 흐름 등과 같은 가장 중요한 프로세스 조건에 대한 실시간 모니터링이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로에는 고급 프로세스 제어 (Process Control) 및 진단 하드웨어 및 소프트웨어가 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 작업을 사용자 정의하고 프로세스 매개변수를 실시간으로 조정하여 최대 균일성과 수율을 달성할 수 있습니다. 여기에는 예측 유지 관리 및 트리거 기반 경보 기능을 제공하는 독점 SmartManagement 소프트웨어가 포함됩니다. 결론적으로, AMAT CENTURA ™ 원자로는 최대 펄스 모드 전력, 처리량, 정밀 에칭을 제공하는 고급형, 경제적인 에치 도구이며, 사용자 친화적, 실시간 프로세스 제어 및 예측 유지 관리 기능을 통해 광범위한 반도체 처리 어플리케이션을 위한 이상적인 솔루션입니다.