판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9026986

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 AMAT의 높은 처리량 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. SiO2, SiN 및 SiOCH와 같은 낮은 유전체 층 재료의 증착에 사용되는 전체 기능 공정 도구입니다. CVD 프로세스의 기능은 SiO2 증착에만 국한되지 않지만, 폴리 Si, 폴리 SiGe, TaN 등과 같은 다양한 다른 재료의 증착에도 사용될 수 있습니다. AMAT CENTURA 원자로는 직경이 최대 20 인치 인 크고 낮은 진공 챔버를 특징으로합니다. 2 개의 열 구역은 독립적으로 조정 될 수 있으며, 전체 기질에서 균일 한 증착이 가능합니다. 이 장비는 프로세스 처리량을 극대화하고 제품 사이클 시간을 최소화하기 위해 급속한 가스 혼합 (Rapid Gas Mixing) 과 배송 (Delivery) 을 위한 대용량 가스 배급기로 설계되었으며, 원자로에는 핫 월 인젝터 (hot wall injector) 와 정확한 고체 소스 CVD 용 차가운 벽 저압 CVD 소스가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 반응물 가스를 웨이퍼/기판 표면에 균등하게 분산시키는 최대 40 개의 RF 마주 보는 선형 배열 쇼 헤드 (Linear-Array Showerhead) 가 포함되어 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 웨이퍼/기판 전송 옵션을 제공하며 내부 스크러빙 (scrubbing) 및 클리닝 시스템을 포함하며, 뛰어난 반복성과 균일성을 통해 반복 가능한 처리를 허용합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA에는 견고한 디지털 제어 머신도 장착되어 있습니다. 이것 은 반응물 "가스 '의 원자로 의 온도, 압력, 유속 을 정확 하게 일관성 있게 제어 할 수 있게 해 준다. CENTURA의 현장 모니터링 (in-situ monitor) 은 정확한 현장 특성을 제공하며, 이는 결과 레이어 두께, 균일성 및 품질의 반복성을 보장하는 데 중요합니다. APPLIED MATERIALS는 기판의 빠르고 자동화된 로드 및 언로드 및 로더, 언로더 및 펌프 전환 모듈 (LUT) 을 허용하는 C2C AE (cassette-to-cassette end effector) 와 같은 원자로 성능을 더욱 향상시키는 다양한 액세서리와 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 광범위한 낮은 유전체 층 재료를 증착하기위한 안정적이고 견고한 CVD 공정 도구를 나타냅니다. 광범위한 프로세스 기능과 모듈식 액세서리 (modular accessory) 를 통해 코팅 프로세스의 고급 제어 (advanced control) 기능을 제공하며, 주요 인프라 변경 없이 기존 모듈 및 아키텍처에 통합할 수 있습니다.