판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura #293831545
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 고급 프런트엔드 및 백엔드 프로세스 기술에 사용되는 다기능 다원자로 플랫폼입니다. AMAT CENTURA 플랫폼은 고급 반도체 장치의 연구, 개발 및 제조를위한 혁신적인 장비입니다. 원자로 시스템은 여러 개의 "스마트 포드 (Smart Pods)" 를 사용하는데, 특정 연구 프로젝트의 특정 요구 사항에 맞게 플랫폼에 설치할 수 있습니다. 각 Smart Pod에는 2 개의 독립적 인 공정 챔버가 포함되어 있으므로 기존 원자로에서 이전에는 불가능한 고급 제작이 가능합니다. 응용 재료 센츄라 반응기 (APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor) 의 챔버에는 최대 4 개의 개별 공정 챔버가 있으며, 각 생산 프로세스의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 토폴로지로 사용자 정의할 수 있습니다. 이러한 챔버 프로세스는 뛰어난 균일성과 뛰어난 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 원자로는 R&D 및 고급 반도체 제품 및 공정의 생산에 이상적입니다. CENTURA 원자로는 기존의 증착 및 에칭 기능 외에도 PVD (physical vapor deposition), ALD (atomic layer deposition) 및 고급 에칭 기술과 같은 고급 처리 기술을 결합합니다. 이 조합을 통해 처리량 (high throughput) 에서 작동할 수있는 프로세스의 빠른 개발과 종종 기존 접근 방식보다 훨씬 높은 균일성 (unifority) 을 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로를 통해 연구원과 엔지니어는 새로운 프로세스와 기술을 신속하게 프로토 타입하고 대량 생산을 수행 할 수 있습니다. AMAT CENTURA 원자로 플랫폼은 매우 자동화되어 있으며 정교한 공정 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 고급 자동화를 통해 원자로는 자원 디렉토리 (directory of resources) 에서 특정 프로세스의 매개변수를 신속하게 처리, 모니터링, 조정 및 조정할 수 있습니다. 또한 기판 (substrate) 을 변경하여 빠른 자동 공구 교체 (automated tool replacement) 로 인해 동일한 웨이퍼 품질 및 생산 용량을 보장할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 CENTURA EpiFlux 기계와 같은 다른 AMAT 프로세스 시스템과도 호환됩니다. 이러한 시스템을 결합하여, 사용자는 더 많은 프로세스 흐름을 운영 라인에 쉽게 통합하고, 기능을 확장할 수 있습니다. 다원자로 (Multi-Reactor) 도구는 업계 표준의 에치 (etch) 및 증착 레시피와도 완벽하게 호환되므로 안정적이고 반복 가능한 프로세스 플랫폼입니다. 품질 관리 측정 (Quality control measure) 으로서, 자산은 미리 정의된 레시피를 실행하여 균일 한 조건에서 웨이퍼가 처리되도록 할 수도 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 반도체 산업의 고급 제작 프로세스에 매우 다양하고 강력한 도구입니다. 고급 자동화, 다중 스마트 포드 (Smart Pods) 및 수많은 프로세스 기능을 갖춘 AMAT CENTURA 원자로는 고급 반도체 제품과 프로세스를 신속하게 프로토 타입하고 처리해야 하는 반도체 연구원 및 엔지니어에게 귀중한 자원입니다.
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