판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767329

ID: 293767329
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 마이크로 전자 제조에 사용하도록 설계된 업계 최고의 초저압 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 혁신적인 디자인은 반도체 시장의 요구를 충족시키기 위해 특별히 고안되었으며, 전통적인 진공 증착 (vacuum deposition) 기술에 비해 상당한 이점을 제공합니다. AMAT CENTURA는 높은 증착율, 뛰어난 필름 균일성 및 정확한 필름 두께 제어를 제공합니다. 응용 재료 CENTURA 원자로는 2 구역 장비입니다. 첫째, 증착 구역은 가스 흐름과 챔버 압력을 조절하는 상하 가스 분포 시스템 (upper and lower gas distribution system) 으로 구성됩니다. 이 장치는 영화 균일성과 증착률을 모두 최적화하도록 설계되었습니다. 제 2 구역은 웨이퍼가 적재 된 가열 된 진공 챔버로 구성됩니다. 이 온도는 원하는 온도로 가열되고, 원하는 작동 범위로 가압됩니다. 챔버 온도의 극한 균일성은 정확한 필름 두께 제어를 보장합니다. CENTURA 원자로에는 고급 컴퓨터 제어 및 데이터 획득 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 시스템을 사용하면 필요에 따라 증착 (deposition) 프로세스를 정확하게 모니터링하고 증착 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 이 고급 제어기는 또한 프로세스 매개 변수를 빠르고 정확하게 조정 할 수있는 파일럿 생산 실행에서 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로를 사용할 수 있습니다. AMAT CENTURA 원자로의 유연성을 통해 프로세스 엔지니어는 특정 응용 프로그램의 증착 과정을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 얕은 접합 (junction) 및 프로세스 향상, 패턴 채우기, 역방향 프로세스 최적화 및 넓은 영역 기판의 균일 한 적용 범위가 포함됩니다. 이 모든 기능은 원자로 설계된 고급 하드웨어/제어 시스템 (하드웨어/제어 시스템) 덕분에 가능합니다. 응용 재료 센츄라 (APPLIED MATERIALS CENTURA) 는 마이크로 일렉트로닉 제작에 적합한 선택이며 고품질 증착 필름을 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. 첨단 제어 시스템, 정밀한 챔버 온도 조절, 최적화 된 증착률 등으로 인해 CENTURA는 가장 까다로운 어플리케이션조차도 이상적인 선택이 됩니다. 이 원자로의 신뢰성과 다재다능 (versitility) 은 시중에서 최고다.
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