판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767144
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ID: 293767144
Etcher
(2) Poly DPS Chamber
Does not include:
Buffer pump
Main power supply drawer
Orienter laser
Chamber A:
Source RF match
Digital turbo
Cathode chiller
Wall chiller controller
Chamber B:
Source RF match
Monochromator
Cathode chiller
Wall chiller
Turbo controller
DTCU Fan.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 고성능 반도체 장치 제작을 위해 설계된 고성능 다용도 반응성 이온 에칭 플랫폼입니다. 이 장비는 혁신적인 설계를 활용하여 이러한 장치를 높은 처리량 (throughput) 과 저렴한 비용으로 생산할 수 있습니다. AMAT CENTURA Reactor는 드라이 에칭 (dry etching) 및 습식 화학 에칭, 다양한 재료의 증착 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 하나의 장치에 여러 프로세스가 통합된 통합 설계를 사용합니다. 이 기계에는 진공 타이트 반응 챔버, 전기 펌핑 도구, RF 전원 및 DC 전원 공급 장치가 포함됩니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 최대 4 개의 독립적 인 공정 영역을 제공하도록 설계되어 다양한 재료 및 기판의 높은 정밀 에칭 및 증착을 가능하게한다. 에셋에는 가스 주입 (gas injection) 모델도 포함되어 있으며, 에칭 과정에서 에칭 및 증착 가스를 추가 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor 의 혁신적인 설계는 모든 Process Zone 에 걸쳐 높은 수준의 프로세스 균일성과 반복성을 제공하여, 일관된 디바이스 성능과 생산성을 제공합니다. 이 장비는 산업 등급 자동화 시스템 (industrial grade automation system) 을 사용하여 사용자에게 단위 매개변수를 완벽하게 제어하고 실시간 반응 조건을 모니터링할 수 있습니다. 이는 높은 성능과 정확성과 더불어 효율성, 저렴한 생산성을 보장합니다. 이 기계는 또한 다양한 재료 호환성 (materials compatibility) 기능과 진단 도구 (diagnostic tools) 를 갖추고 있어 광범위한 프로세스를 실험하고 최적화할 수 있습니다. 이 도구는 입자 (particle) 및 재료 오염 (material contamination) 에 매우 강하므로 고성능 장치 제작 및 청정실 환경에 적합합니다. 센츄라 리액터 (CENTURA Reactor) 는 고성능 전자 장치를 제작하여 안정적이고 저렴한 비용으로 생산할 수 있도록 설계된 강력하고 다양한 자산입니다. 공정 제어 (Process Control), 정밀도 (Precision) 및 호환성 (Compatibility) 이 높은 모델과 결합된 여러 프로세스의 혁신과 통합은 전자 장치 제조 생산에 이상적인 솔루션입니다.
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