판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293751886
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ID: 293751886
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CVD System, 12"
Process: BD / SICOH Etch / Dry etch
Size: 32 nm
OS: WindowsXP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 반도체 장치 제조에 사용되는 고성능 PVD (Physical Vapor Deposition) 원자로입니다. AMAT CENTURA는 단일 웨이퍼 원자로입니다. 즉, 한 번에 하나의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 응용 재료 센츄라 (APPLIED MATERIALS CENTURA) 는 다양한 증착 방법과 프로세스를 사용하여 반도체 웨이퍼에 재료를 입금합니다. 증착 방법에는 열 증발, 스퍼터 증착, 화학 증발 (CVD) 및 펄스 레이저 증착 (PLD) 이 포함됩니다. 센츄라 (CENTURA) 는 질을 저하시키지 않고 높은 처리량으로 균일 한 재료 층을 일관되게 증착하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로 챔버는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 저항 가열 요소에 의해 가열됩니다. 기본 압력이 10-7 Torr 미만인 초고 진공 챔버입니다. 빠른 열 사이클링 (thermal cycling) 이 가능하여 웨이퍼 (wafer) 에 빠르게 예금 및 anneal 물질을 배치 할 수 있습니다. "아마트 센츄라 '는 또한 전하 격리 기술 을 갖추고 있는데, 이것 은 전자 와" 이온' 이 방 에서 벗어나 "웨이퍼 '를 오염 시키지 않도록 보장 해 준다. 이것 은 "웨이퍼 '가 그 들 의 성능 에 영향 을 줄 수 있는 불순물 에 오염 되지 않게 한다. 응용 재료 센츄라 (APPLIED MATERIALS CENTURA) 는 광범위한 반도체 웨이퍼를 제조하는 데 사용되는 다용도 도구입니다. 웨이퍼의 코발트, 몰리브덴, 탄탈럼, 텅스텐, 파릴렌 및 티타늄과 같은 증착 물질에 사용됩니다. 또한 금속, 산화물, 질화물, 중합체 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 물리적 증기 증착 외에도 센츄라 (CENTURA) 는 웨이퍼 표면을 더욱 개선하기 위해 현장 내 에칭 및 클리닝 프로세스를 수행하는 데 사용될 수도 있습니다. 또한 in-situ Desortion 및 Reflection High-Energy Electron Diffraction (DRHEED) 을 수행 할 수 있습니다. 이 정보 는 특정 한 온도 나 압력 에 노출 될 때, 물질 의 행동 을 더 잘 이해 하는 데 도움 이 된다. "깨어라!" ( AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 많은 산업에서 웨이퍼 생산에 사용되는 고급적이고 신뢰할 수있는 PVD 도구입니다. 유연성과 성능으로 다양한 어플리케이션에 고품질 웨이퍼 (wafer) 를 생산할 수 있습니다.
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