판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293624204
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ID: 293624204
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Etchers, 12"
EFEM
Process: Oxide
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber enabler
(1) Generator rack
AC Rack (CVCF, UPS)
TM Module with VHP Robot
RF Rack (ENI B5005, GHW 50A)
Side storage
parts included
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 반도체 집적 회로의 제조에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. AMAT Centura Enabler는 프로세스 유연성과 매우 향상된 온도 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 최첨단 CVD 프로세스와 재료를 지원하여 탁월한 필름 균일성 (film unifority) 뿐만 아니라 성능과 속도를 높입니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 매우 복잡한 유전체 스택의 등각 및 완전한 적용 범위를 용이하게하는 특허를받은 균일 증착 기술을 갖추고 있습니다. 원자로의 다른 구역에서 다른 온도를 허용하는 고급 다중 영역 온도 제어 시스템 (multi-zone temperature control system) 이 있습니다. 이를 통해 필름 균일성 (Excellor Film Unifority) 및 제어 (Control) 기능을 비롯하여 여러 프로세스를 동시에 독립적으로 실행할 수 있습니다. 센츄라 Enabler (Centura Enabler) 는 모든 프로세스 부산물을 필터링하여 최고 수준의 깨끗함과 결과 산출하는 혁신적인 여과 시스템을 갖추고 있습니다. 이것은 특히 웨이퍼 (wafer) 표면에 매우 얇은 레이어 증착을 달성하는 데 유용합니다. 또한 여과 "시스템 '은 증착 전구체 의 수 를 최소화 하여 생산량 을 향상 시키도록 설계 되었다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 매우 안정적이며 다운타임을 줄여줍니다. 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되어 부식 내성이 우수하며 대용량 생산 시설의 엄격함에 적합합니다. 또한 간편한 문제 해결을 위한 내장형 진단 시스템뿐만 아니라, 유지 보수 및 수리 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Centura Enabler는 고급 프로세스 유연성, 온도 조절 및 정밀 여과 기능을 제공하는 최고급 CVD 원자로입니다. 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었으며, 탁월한 신뢰성과 유지보수성을 제공합니다.
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