판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293614967

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 혈장 강화 화학 증발 (PECVD) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 집적 회로, 태양 광 세포 및 기타 장치의 제작에서 반도체 (반도체) 및 기타 전자 부품 (전자 부품) 과 같은 다양한 기판에 얇은 재료 층을 배치하는 데 사용됩니다. AMAT CENTURA는 뛰어난 재료 증착 기능을 제공하는 생산성, 유연성, 고성능 원자로로 설계되었습니다. 강력한 원격 플라즈마 소스 (RPS) 를 사용하여 여러 화학 물질을 전환하고, 매개변수를 처리할 수 있는, 반응성이 높고 깨끗한 플라스마를 생성합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA에는 혁신적이고 사용하기 쉬운 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스로 설계된 진공관이 있습니다. 균일 한 증착을 위해 기판을 가로 질러 사용자 정의 가능하고 균일 한 플라즈마 매개 변수를 제공합니다. RF 연결, RF 튜닝 회로 및 안테나 스케일링 (scaling) 의 최적화 된 디자인은 모두 스펙트럼 노이즈를 줄이고 서셉터 전체에 균일 한 플라즈마를 유지함으로써 우수한 플라즈마 튜닝을 제공합니다. 정밀한 전력 및 전류 제어를 활성화함으로써 ICP 소스는 기판 충전을 효율적으로 제거하고 스퍼터링을 제거합니다. 센츄라 (CENTURA) 의 주요 특징은 광범위한 도펀트 농도 및 화학 전구체를 갖춘 재료를 만드는 능력으로, 재료 엔지니어링 및 장치 제조에 더 큰 유연성을 제공합니다. PECVD 시스템은 단결정 SiGe 합금, 희토류 산화물, 매우 얇은 실리카 층과 같은 다양한 재료를 생산할 수 있으며, 정확하고 반복 가능한 도핑 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA에는 고속 열확산 분리기 (Rapid-Thermal Diffusion Separator) 및 빠른 열 에피택시 (Epitaxy) 원자로가 장착되어 있어 장치 처리에 도펀트 교환 및 결함 감소가 가능합니다. 로드 및 온도 조절과 관련하여 AMAT CENTURA는 고유 한 기능 세트를 제공합니다. 통합 로드 록 카세트는 고온 작동이 가능하며, 최대 5 개의 기판에 대해 높은 균일 성을 유지할 수 있습니다. 로우 프로파일 (low-profile) 설계를 통해 시스템은 간단하고 사용하기 쉽고, 자동화된 기판 전송 시스템 (Substrate Transfer System) 을 통해 기판을 빠르게 로드하고 처리할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA는 신뢰할 수있는 성능과 다양한 증착 기능을 결합한 고급 PECVD 원자로입니다. 혁신적인 기능은 탁월한 유연성과 성능을 제공하는 반면, 최적화된 설계를 통해 유지 관리 비용을 절감하고, 시간을 절약하며, 처리량을 높일 수 있습니다. 따라서, CENTURA 는 속도 및 고품질 증착 프로세스를 원하는 경우, 고급 디바이스 제작을 위한 완벽한 선택입니다.