판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293600348
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ID: 293600348
빈티지: 1997
Metal etcher
Mainframe
(2) DPS Chambers (Poly and metal)
(2) R2 Chambers
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Transfer pump / loadlock pump
(3) BOC EDWARDS iH80 Dry pumps
(3) NESLAB HX-150 Chillers
HP Robot
Narrow body load locks
AC and generator rack
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Wafer Reactor (AMAT CENTURA) 는 다양한 재료에 복잡한 웨이퍼 패턴을 만들도록 설계된 금속 증착 도구입니다. 이 도구는 금, 알루미늄, 티타늄, 크롬 및 텅스텐과 같은 재료를 매장하는 데 사용될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA는 저가의 화학 증기 증착 (CVD) 및 화학 기계 평면 화 (CMP) 기술을 사용하여 매우 균일하고 미세한 금속 구조를 생성합니다. CENTURA는 매우 효율적인 Total Chamber 설계를 활용하여 Wafer 재배열, Wafer 성능 및 Chamber 사용률을 포함한 프로세스 기능을 향상시킵니다. 이 효율적인 설계는 듀얼 사이클 CVD (Dual Cycle CVD) 장비로, 더 적은 시간에 더 많은 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 듀얼 사이클 CVD (Dual Cycle CVD) 는 한 번에 최대 16 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며, 서로 다른 재료를 동시에 여러 번 증착 할 수 있습니다. 또한, 이중 트랙 CMP 모듈을 통해 처리량이 증가하여 균일성, 평면 및 금속화 측면에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 전례없는 수준의 유연성과 정확성을 제공하여 사용자가 가장 복잡한 세부 사항을 배치, 에치 (etch), 닦을 수 있도록 합니다. CVD 시스템에는 패턴 피쳐를 실시간으로 평가하기 위해 고급 온웨퍼 (on-wafer) 도량형이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 자신의 프로세스를 전례 없이 제어할 수 있으며, 세부 피쳐에 대한 정확한 배치 (deposition) 매개변수를 사용할 수 있습니다. 또한, AMAT CENTURA에는 모든 필수 프로세스 영역의 온도 분포를 정확하게 매핑하는 동적 온도 매핑 기능이 포함되어 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS CENTURA에는 고급 안전 (Advanced Safety) 기능과 프로세스 조건을 최적화하는 여러 프로세스 도구가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 '안전에 대한 센서' 모니터링 기계와 웨이퍼 제거를위한 팝업 웨이퍼 진공이 포함됩니다. 이 도구의 다른 특징으로는 입자 감지 자산, 진공 압력 모니터링 모델, 웨이퍼 처리를 위해 매우 신뢰할 수있는 로봇 암 (robotic arm) 이 있습니다. CENTURA는 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공하여 뛰어난 웨이퍼 표면 균일성을 제공합니다. 이 도구는 유연성 있는 제조 공정의 일부로, 완전히 자동화되고 다른 도구와 통합될 수도 있습니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 프로세스를 통합하고 전반적인 운영 프로세스를 제어할 수 있습니다. 고급 기능과 직관적인 작동으로 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 고품질 웨이퍼의 정확한 증착과 연마에 이상적인 도구입니다.
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