판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293587805
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 최첨단 PVD (Physical Vapor Deposition) 원자로입니다. 기판에 고품질 박막 (또는 코팅) 을 만들도록 설계되었습니다. AMAT CENTURA는 섭씨 1000 도까지의 온도에서 작동하며, 금속, 금속 질화물, 유전체 등 다양한 재료를 매장하는 데 사용될 수 있습니다. 원자로는 2 개의 공정 챔버 (process chamber) 를 사용하여 2 단계 공정 시퀀스를 활성화하여 증착 과정을 더 잘 제어 할 수 있습니다. 모든 스테인레스 스틸 구성 및 컴퓨터 제어, 자동 프로세스 매개변수는 APPLIED MATERIALS CENTURA를 고품질 및 비용 효율적인 증착을 보장하는 이상적인 원자로로 만듭니다. 원자로는 정전 형 무선 주파수 (RF) 플라즈마 기술을 사용하여 전체 증착 과정에서 안정적이고 일관된 환경을 유지합니다. 이를 통해 증착률, 재료 균일성 향상, 물리적, 화학적 특성에 대한 정확한 제어가 가능합니다. CENTURA 원자로 설계는 차세대 반도체 장치 생산에 최적화되었습니다. 증기 (vapor) 와 스퍼터 증착 (sputter deposition) 기술, 프로세스 가스 혼합 (process gas mixing) 및 혼합 최적화 (mixing optimization) 방법의 조합을 활용하여 뛰어난 재생성과 증착 품질을 달성합니다. 이렇게 하면 복잡한 장치 구조가 최소 처리 단계 (processing steps) 로 형성되고 높은 수율은 유지됩니다. 원자로에는 처리량 최적화 및 로트 간 반복성을 허용하는 레시피가 내장되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 최첨단 자동 제어 기능을 제공하여 증착 프로세스의 모든 측면을 간소화합니다. 자동 튜닝 프로세스를 통해 원자로는 안정적인 환경을 유지하고, 오염을 방지하며, 코팅 된 필름의 변화를 줄일 수 있습니다. AMAT CENTURA는 또한 효율적인 Lot-to-lot 반복성 및 최대 처리량 최적화를 위한 고급 자동 레시피 프로그램을 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 프로세스 안정성과 균일성을 보장하기 위해 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 증착 (deposition) 의 모든 데이터는 쉽게 검색할 수 있도록 저장됩니다. 응용 재료 센츄라 (APPLIED MATERIALS CENTURA) 는 최고 품질의 박막 제작을 위한 효율적이고, 다용도이며, 매우 신뢰할 수 있는 도구입니다. 우수한 설계 및 제어 기능으로 반도체 장치 생산, 고급 코팅 (advanced coating) 및 재료 증착 (material deposition) 응용 분야를위한 프리미어 도구가되었습니다.
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