판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #196641
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판매
ID: 196641
HDP CVD system, 8"
(2) L/L chambers
(1) Buffer chamber
(1) Cool down chamber (CH-E)
(1) Flat (CH-F)
(2) HDP-CVD chambers (CH-A/C)
(2) DxZ chambers (CH-B/D).
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 반도체 제조 장비 제조업체 인 AMAT에서 생산 한 전문 도구입니다. AMAT CENTURA Reactor는 IC (integrated circuit) 장치 생산에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 산화, 증착, 에칭, 어닐링, 이온 이식 및 사전 청소와 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 가스 타이트 봉투, 웨이퍼 핸들러 및 필요한 제어 시스템을 갖춘 견고한 스테인리스 스틸 인클로저로 구성됩니다. 원자로의 주요 구성 요소에는 석영 공정 챔버, 진공 장비, 무선 주파수 (RF) 생성기 및 라즈마 생성을 허용하는 RF 케이블, 실내 청소 시스템 (in-situ cleaning system) 이 포함됩니다. 특수 석영 구성 요소는 또한 CENTURA Reactor의 구조와 프로세스 기능을 추가합니다. 최대 균일성과 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하기 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 작동 중 프로세스 챔버의 압력, 온도, 흐름 및 기타 변수를 정확하게 제어 할 수있는 고유 한 프로세스 제어 장치를 통합합니다. AMAT CENTURA Reactor (AMAT CENTURA Reactor) 는 사용자 지정 기능이 뛰어나고 구성 가능하므로 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 시스템을 쉽게 구성할 수 있습니다. 원자로는 알루미늄/구리 증착, 폴리 실리콘 층 증착, 실라이드 증착, 폴리 실리콘 도펀트 에칭 등 다양한 기능을 지원하기 위해 설정 될 수있다. 또한, APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 큰 크기의 다이를 처리 할 수 있으므로 처리량을 높이고 수율을 향상시킬 수 있습니다. 센츄라 원자로 (CENTURA Reactor) 에는 안전하고 안정적인 운영 환경을 보장하기 위해 가스 안전 인터 록 (gas safety interlock) 및 챔버 위생 (chamber sanitation) 과 같은 다양한 안전 시스템이 포함되어 있습니다. 이 안전 시스템은 또한 오염 및 생산성 손실로 인한 비용이 많이 드는 수리를 방지하는 데 도움이 될 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 추가 프로세스 기능을 위해 다른 장비 (예: 드라이 펌프 및 쿨러) 와 인터페이스 할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT CENTURA Reactor는 IC 생산을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 반도체 업계의 엄격한 품질 요구 사항 (예: 반복 가능성, 정확성, 운영 안전) 을 충족하도록 설계되었습니다. 또한, 사용자 지정 및 구성 가능한 기능을 통해 사용자는 특정 요구사항에 따라 쉽게 공구를 조정할 수 있으며, 처리량 (throughput) 을 높이고 수익률을 높일 수 있습니다.
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