판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146828

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 마이크로 전자 장치 제조에 사용되는 고온 원자로입니다. 반도체 기판에 절연체 (insulator) 와 도체 (conductor) 를 포함한 다양한 필름을 퇴적시키는 데 사용될 수있다. 아마트 센츄라 (AMAT CENTURA) 는 고온 도자기, 스테인레스 스틸 (stainless steel) 및 원하는 필름을 만드는 데 필요한 고온을 견딜 수 있도록 구성된 기타 열 부품으로 구성됩니다. 공정 챔버, 전자 빔 건, 냉각 부품이 포함 된 주택으로 구성됩니다. 공정 "챔버 '안 에 기질 을 배치 할 수 있는 받침대 가 있다. 기질은 전자 빔 건 (electron beam gun) 에 의해 가열되어 기판 표면을 전자로 폭격합니다. "빔 '이 기질 을 가로질러 방향 을 잡고 집중 됨 에 따라, 열 이 발생 하여 물질 이 녹기 시작 하고, 결국 기질 표면 에서 증발 한다. 공정 챔버 (process chamber) 에는 2 개의 가스 소스가 있으며, 공정 챔버 내부에 대기를 공급하는 데 사용될 수 있습니다. "가스 '의 한 원천 은" 필름' 증착 지역 을 지도 하고, 다른 원천 은 "컵 '반지 를 지도 하며, 이것 은 기판 에 추가 냉각제 를 제공 할 수 있다. 공정 챔버 내부의 온도는 최대 800 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 이러 한 가열 된 분위기 를 통해 "필름 '증착 이 급속 히 발생 하여, 보다 고품질 의" 필름' 을 기판 에 증착 시킬 수 있다. 또한, 분위기는 0.1 ° C의 정밀도로 제어 할 수 있으며, 원하는 결과에 따라 광범위한 필름 (film) 을 증착 할 수 있습니다. 응용 재료 센츄라 (CENTURA) 의 크기와 무게는 청소실 환경에서 처리하는 데 이상적입니다. 최대 200 mm 직경의 기판을 처리 할 수 있으며, 프로세스 챔버 내의 프로세스를 제어하기 위해 손쉽게 LCD 화면 (LCD Screen) 을 사용할 수 있습니다. 센츄라 (CENTURA) 는 우수한 품질의 필름을 갖춘 마이크로 장치 제조에 가장 적합한 고온 원자로입니다. 최대 800 ° C의 온도를 견딜 수 있으며, 0.1 ° C의 정밀도로 프로세스 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 청소실 환경에서도 쉽게 설치할 수 있으며, 직경이 최대 200mm 인 기판을 수용 할 수 있습니다.