판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146827

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 반도체 장치 제작 및 플라즈마 처리를 위해 가장 고급적이고 안정적인 시스템 중 하나입니다. 반도체 소자 제작에서 연구개발 (R&D) 과 생산 (production) 애플리케이션 모두를 위한 유연성이 뛰어난 도구다. 장비에는 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 첫 번째는 일련의 석영 또는 스테인리스 스틸 플레이트 (stainless steel plate) 로 구성된 진공 챔버 (vacuum chamber) 로, 비활성 가스로 가압 할 수 있으며 진공이 안정화 될 수 있습니다. 두 번째 구성 요소는 음극 어셈블리 (cathode assembly) 인데, 음극 재료를 보유하며 플라즈마를 생성하기 위해 챔버에 삽입 할 수 있습니다. 또한, RF 발전기 (RF Generator) 가 있으며, 플라즈마 용 전력과 공정 가스를 챔버에 인정하기위한 가스 공급 시스템을 공급한다. AMAT CENTURA 원자로의 RF 생성기는 전력 출력을 제어 할 수있는 고전압 모듈입니다. 이렇게 하면 운영자가 작동 매개변수를 미세하게 조정하고 가장 적합한 전원 제어 설정 (power control settings) 을 선택할 수 있습니다. RF 생성기는 또한 웨이퍼에 적용되는 바이어스 전압 (bias voltage) 의 제어를 처리한다. RF 생성기는 또한 챔버의 베이스 플레이트 (base plate) 에 연결되어 있으며, 이는 실드 역할을하며 회로의 간섭을 방지하는 데 도움이됩니다. 가스 공급 장치는 APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로의 핵심 구성 요소이기도합니다. 그것 은 "입력 '과 출력" 밸브' 를 통하여 진공실 에 연결 되어 있으며, 산소 와 질소 와 같은 가공 "가스 '를 방 에 도입 하는 데 사용 된다. 그런 다음, 이 "가스 '를 공정 물질과 혼합하여 약실에서 재순환하여 적절한 온도 및 압력 조절을 유지합니다. 센츄라 (CENTURA) 원자로의 음극 어셈블리는 기계적 (mechanical) 및 전기적 (electrical) 부품의 조합으로 제자리에 고정되는 전극 세트로 구성됩니다. 이 전극은 챔버 내에 플라즈마를 형성하는 역할을 맡고 있으며, 사용 된 전극의 유형과 조합은 응용에 따라 다르다. 음극 어셈블리는 사용자의 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로의 챔버는 또한 매우 조절 가능하며, 챔버의 온도 및 진공 수준을 높이거나 낮추도록 프로그래밍 될 수있다. 이를 통해 사용자는 원하는 운영 조건을 달성할 수 있습니다. 즉, 프로세스 수율을 대폭 향상시킬 수 있습니다. 요약하자면, AMAT CENTURA 원자로는 반도체 장치 제작 및 플라즈마 처리를 위해 안정적이고 다재다능한 기계입니다. 연구개발 (R&D) 및 생산 응용 프로그램을 지원하는 우수한 기능과 RF 생성기, 가스 공급 도구, 음극 조립과 같은 신뢰할 수 있는 기능의 조합을 제공합니다. 이러한 모든 구성 요소는 결합하여 APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로를 반도체 장치 제작 및 플라즈마 처리에 가장 인기있는 선택 중 하나로 만듭니다.