판매용 중고 AIXTRON Crius I #293586746

AIXTRON Crius I은 박막 증착을 위해 설계된 고 처리량 에피 택시 원자로입니다. 원자로에는 기질 식각을위한 산소-이온 빔 (oxygen-ion beam) 을 제공하는 유도 결합 플라즈마 소스와 층 성장에 대한 고밀도 플라즈마 (ECR) 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 크리 우스 1 세 (Crius I) 의 디자인은 더 큰 프로세스 창과 얇은 필름의 균일성을 향상시킵니다. AIXTRON Crius I 원자로는 광범위한 기판 및 재료에 대한 고성능 박막 증착을 제공합니다. 유연한 프로세스 창과 Crius I의 높은 처리량을 통해 사용자는 도전적인 기판 및 재료 (예: 태양 전지, LED 및 반도체) 를 수용 할 수 있습니다. AIXTRON Crius I의 고급 플라즈마 소스와 우수한 재료 균일성은 뛰어난 박막 품질을 제공합니다. Crius I에는 로드록 (loadlock) 장비가 있어 사용자가 신속하게 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 웨이퍼는 초고진공 (ultra-high vacuum) 과 질소 (nitrogen) 를 통해 환경에 노출되어 공정 챔버에서 고품질 진공을 유지할 수 있습니다. 또한, 5 인치 세그먼트 코일은 플라즈마 및 에칭 빔의 정확한 위치를 설정하여 균일 한 박막 (thin film) 을 제공합니다. 또한, AIXTRON Crius I에는 정확한 엔드 포인트와 향상된 레이어 균일성을 보장하기 위해 고해상도 엔드 포인트 감지 시스템이 장착되어 있습니다. 이 고급 장치는 사용자가 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한, Crius I에는 문제 해결을 신속하게 수행할 수 있는 자체 진단 장치 (self-diagnostic machine) 가 내장되어 있으며, 사용자가 원자로 상태를 쉽게 확인할 수 있습니다. 전반적으로 AIXTRON Crius I은 강력하고 신뢰할 수있는 박막 증착 도구입니다. 고성능 플라즈마 소스 (Plasma Source), 뛰어난 박막 품질 (Thin Film Quality), 신뢰할 수 있는 종단점 감지 에셋을 갖춘 Crius I은 사용자에게 유연한 프로세스 윈도우와 뛰어난 균일성을 제공합니다.