판매용 중고 ULVAC RIKO RTA-4000 #9412583

ULVAC RIKO RTA-4000
ID: 9412583
웨이퍼 크기: 6"
Rapid thermal annealing system, 6".
ULVAC RIKO RTA-4000은 고성능 노즐 설계, 빠른 열 사이클 처리, 탁월한 온도 제어 기능을 갖춘 빠른 열 프로세서 (RTP) 로, 가장 안정적이고 효율적인 RTP 중 하나입니다. 이 RTP는 최대 1500 ° C까지 가열하고 -170 ° C (-170 ° C) 까지 단 몇 초 만에 냉각 할 수 있으며 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. RTA-4000 은 특허를 획득한 멀티 존 (multi-zone) 설계를 사용하여 균일성과 프로세스 효율성을 향상시킵니다. 각 가열 요소는 일정한 수준의 열을 유지하면서 온도 변화에 신속하게 반응 할 수 있습니다 (영문). 또한 이 RTP 는 고급 (Advanced) 제어 옵션을 제공하여 사용자가 정확한 처리 요구에 맞게 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 PID (Proportional Integral Derivative) 제어 장비는 원하는 온도와 균일성을 정확하게 유지합니다. ULVAC RIKO RTA-4000 은 내구성이 뛰어나고 견고한 설계로, 통합 진공 시스템과 안전성과 안정성을 보장하는 EMC/ESD 보호 장치를 갖추고 있습니다. 이 RTP는 4 존 쿼츠 (Zone Quartz) 전기 히터를 가지고 있으며, 광범위한 온도와 경사 속도로 열 주기를 실행할 수 있습니다. 또한 프로세스 중 로드를 모니터링하는 열 하중 센서 (thermal load sensor) 와 챔버 안팎으로 쉽게 접근 할 수있는 2 개의 쿼츠 파이버 도어 (quartz fiber door) 가 있습니다. 이 시스템은 또한 TCP/IP 프로토콜을 통합하여 원격 위치에서 시스템을 제어하거나 로컬 LAN (local LAN) 을 통해 모니터링할 수 있는 탁월한 원격 모니터링을 제공합니다. 또한 RTA-4000 은 전면 패널에 7 인치 LCD 디스플레이를 포함하고 있어 현재 설정을 보고 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC RIKO RTA-4000은 빠른 열 처리에 적합한 솔루션입니다. 직관적인 설계, 직관적인 제어 옵션, 고급 온도 조절 기능 (Advanced Temperature Control) 을 통해 사용자는 프로세스를 정확하고, 빠르고, 안정적으로 실행할 수 있습니다.
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