중고 ULVAC / RIKO (급속열공정장비) 판매용
ULVAC/RIKO는 고급 반도체 제조 공정을 촉진하기 위해 설계된 유명한 RTP (Rapid Thermal Processing) 장비 제조업체입니다. 그들의 ULVAC RTP 시스템은 수많은 이점을 제공하여 업계에서 매우 많이 찾고 있습니다. 이러한 RTP 프로세서는 빠른 열 어닐링 기술을 사용하여 반도체 재료 및 장치의 특성을 향상시킵니다. 정밀하고 균일 한 온도 조절을 달성할 수 있는 고급 난방 시스템 (Advanced Heating System) 이 장착되어 있어 최적의 처리 조건을 보장합니다. ULVAC/RIKO RTP 프로세서는 고속 웨이퍼 처리 메커니즘을 갖추고 있어 빠르고 효율적인 처리를 지원합니다. 널리 사용되는 모델 중 하나는 직경이 매우 큰 웨이퍼를 위해 설계된 고성능 RTP 시스템 인 MILA-5000입니다. 이 모델은 우수한 온도 균일성을 자랑하며, 전체 웨이퍼 표면에서 매우 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 MILA-5000 은 고급 프로세스 레시피 관리 (process recipe management) 및 데이터 분석 기능을 제공하여 운영 계획 및 최적화를 효율적으로 수행할 수 있습니다. ULVAC/RIKO RTP 프로세서는 마이크로 일렉트로닉스, 광전자 및 전원 장치를 포함한 다양한 산업에 대한 유사성을 제공합니다. 이 시스템은 매우 다재다능하며, 빠른 열 어닐링, 빠른 열 산화, 빠른 열 화학 증발 (thermal chemical vapor deposition) 과 같은 다양한 과정을 지원하기 위해 적응할 수 있습니다. 요약하면, MILA-5000과 같은 ULVAC/RIKO 고속 열 프로세서는 정확한 온도 조절, 고속 웨이퍼 처리, 고급 프로세스 관리 기능을 제공합니다. 반도체 제조업체들이 우수한 성과를 달성하고 생산공정을 최적화하는 것을 목표로 선호 (preferred) 하는 선택의 장점이다.
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