판매용 중고 ULVAC / RIKO MILA-5000 #9357190

ULVAC/RIKO MILA-5000은 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 반도체 웨이퍼, 연료 전지, 광전지, 디스플레이 등 기질의 신속한 열 처리를 위해 설계된 일종 도구입니다. RIKO MILA-5000은 광범위한 온도와 난방 속도로 고온 처리를 달성 할 수 있습니다. 이 "에너지 '는 불균일 한 모양 의" 기판' 에 대한 정밀 한 온도 범위 와 균일 한 가열 을 빠른 속도 로 유지 할 수 있으며, 다른 "시스템 '에 비해 짧은" 달리기' 시간 과 작은 발자국 을 유지 할 수 있다. ULVAC MILA-5000은 비활성 가스 대기를 사용하여 최대 1000 ° C 이상의 온도에 도달 할 수 있습니다. MILA-5000에는 초소형, 고출력, 유도 가열 코일을 활용하는 강력하고 효율적인 가열 장비가 장착되어 있으며, +/-2 ° C 범위의 기판에서 온도 균일성을 제공 할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 가열 요소 를 추가 하지 않고도, 일반" 시스템' 보다 더 빠른 속도 로 더 높은 온도 에 도달 할 수 있게 한다. 이 장치에는 온도 프로파일 (temperature profile) 을 정확하게 제어하기 위해 고유한 제어 장치 (Control Machine) 도 장착되어 있습니다. 이러한 제어 시스템은 처리 중인 기판의 균일성 요구 사항에 따라 사용자 정의 온도 프로파일을 허용합니다. ULVAC/RIKO MILA-5000 (ULVAC/RIKO MILA-5000) 은 작은 설치 공간에서 완벽한 툴로, 주 엔클로저 외부에 최소 구성요소가 있으며 전력 소비량이 적습니다. 온도가 몇 밀리초 안에 1000 ° C에 이르는 빠른 사이클링을 위해 설계되었습니다. 그것의 구조는 +/-2 ° C의 온도 균일성으로 장기 처리에 탁월한 온도 안정성을 제공합니다. 높은 온도 또는 비활성 가스 대기 처리를 위해 최대 0.4Mpa 압력으로 큰 기질 (최대 300mm) 도 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 매우 고품질의 필름을 제공할 수 있으며, 포괄적인 추적 가능성, 데이터 로깅, 안전 (Safety) 기능을 통해 일관되고 안정적인 프로세스를 보장합니다. RIKO MILA-5000은 실리콘 웨이퍼, 안경, 금속, 도자기 등 다양한 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. 제어 모델은 온도, 압력, 가스 흐름 속도 등 프로세싱의 다양한 매개변수를 모니터링 할 수 있습니다. 또한 온도 경사 속도, 압력, 순환 속도, 대기 선택 등 다양한 사용자 정의 가능한 매개변수를 제공합니다. 이 장비에는 사용자 정의 인터페이스 (custom interface) 도 장착되어 있어 매개변수를 정확하고 사용자 친화적으로 제어할 수 있습니다. 이것은 산화, 어닐링, 확산 등과 같은 응용 분야에 적합한 선택입니다. 또한, ULVAC MILA-5000 은 유지 보수 (Maintenance) 및 조정 서비스 (Calibration Services) 를 포함한 포괄적인 기술 지원 시스템을 통해 최대 성능으로 계속 작동할 수 있습니다.