판매용 중고 ULVAC / RIKO MILA-5000 #9113552
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ID: 9113552
빈티지: 2008
Rapid Thermal Processing (RTP) system
Desktop infrared furnace
RTP Oven
Micro processor controlled tube
Box furnaces
Sample holder
Mini lamp annealer
Water flow safety switch set
Atmosphere:
Air
Vacuum
Gas flow
Temperature: ~1200°C
Power supply: 200 V, 4 kW
2008 vintage.
ULVAC MILA-5000은 샘플 처리를 위해 기판을 빠르게 가열하고 냉각시키는 데 사용되는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. MILA-5000은 최대 온도 1000 ° C로 가열하고 실온 (< 1ms) 으로 냉각 할 수 있습니다. 이것은 강력한 석영 튜브 유도 난방 기술 때문입니다. 이 장치는 또한 최소 온도 변동으로 고온 안정성을 제공합니다. ULVAC MILA-5000 (ULVAC MILA-5000) 은 다양한 응용 분야에서 기판의 정확하고 일관된 난방 및 냉각을 보장하도록 설계된 다용도 프로세서입니다. 특정 열 공정을 시뮬레이션하기위한 샘플 클리닝, 알루미늄 리플로우, 빠른 열 어닐링, 빠른 램핑 온도를위한 이상적인 도구입니다. 또한이 장치는 증착, 산화 및 에칭 응용에 사용될 수 있습니다. MILA-5000에는 편리한 LCD 터치스크린 디스플레이와 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 장착되어 있어 작동 및 설치가 간편합니다. 내장형 소프트웨어는 증착 제어 (deposition control) 및 최적화 전용 테스트 프로그램을 포함하여 다양한 응용 프로그램에 스마트 열 레시피를 제공합니다. 이 장치는 또한 최적화 된 온도 조절 및 진동 감소를위한 내장 격리 팬 (isolation fan) 을 갖추고 있습니다. 이것은 탁월한 열 처리 성능을 위해 설계된 고급 장치입니다. ULVAC MILA-5000은 내구성 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 절연 석영 튜브 (quartz tube) 로 견고하게 구성되어 신뢰성과 습식 화학 호환성을 보장합니다. 또한 통합 프로그래밍 가능한 HMWP (High-Performance Motorized Winding Platform) 와 필름 및 와이어 증착 제어를 위한 보조 입력 및 출력을 갖추고 있습니다. 전반적으로 MILA-5000은 최첨단 열 프로세스 제어를 위한 이상적인 빠른 열 프로세서입니다. 첨단 디자인과 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 빠른 난방 및 냉각 기능을 결합한 고급 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 다양한 어플리케이션에 이상적인 도구입니다. 온도 변동이 최소화되면서 정확하고 신뢰할 수 있는 온도 프로파일을 제공하여 뛰어난 샘플 (sample) 처리 성능을 보장할 수 있습니다.
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