판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR #9227411

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZAR는 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 와퍼의 정확하고 빠른 열 제어를 제공하는 고급 고온 RTA (Rapid Thermal Annealer) 입니다. 이 장비는 초고속 가열을위한 플래시 램프 조명, 전자기적으로 구동되는 쿼츠 발진기 (quartz oscillator plank) 및 최대 열 제어를 위해 2 개의 선형 피드백 액추에이터를 사용하는 고급 광학 시스템을 갖추고 있습니다. TEL Alpha-8S-ZAR는 여러 개의 초고속 펄스 플래시 램프를 사용하여 빠르고 균일 한 온도 램프 속도를 생성하여 어닐링 중 정확한 웨이퍼 온도 제어를 제공합니다. 또한 'FluxEye (FluxEye)' 기능을 통해 제공되는 독보적인 데이터 캡처 및 제어 기능을 통해 웨이퍼 온도 측정을 측정하고 저장하여 처리 제어 능력을 향상시킵니다 (영문). TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR는 초저압 환경에서 최대 1,400 ° C의 높은 처리 온도 범위를 제공합니다. 이는 프로세스 및 필름 균일성 증가, 우수한 열 제어, 장기 프로세스에 대한 높은 수준의 반복성을 제공합니다. 알파 -8S-ZAR (Alpha-8S-ZAR) 은 수소 수준이 챔버에서 위험한 수준에 도달하면 비상 대피 절차를 시작하는 수소 안전 (Hydrogen Safety) 옵션을 포함하여 광범위한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 비활성 가스 흐름 교정 도구, 독립 히터 전류 (independent heater current) 및 추가 프로세스 제어를 위한 전압 판독 (voltage readings), 프로세스 오버런을 방지하고 웨이퍼에 대한 열 손상을 방지하는 자동 온도 보상 알고리즘 (automatic temperation compensation algorithm) 을 포함하여 완전히 자동화 된 OFF-LINE 함수로 설계되었습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR에는 원격 제어 기능이 내장 된 고급 FM/AM 발진기가 있습니다. 이 원격 제어 기능 (Remote Control Feature) 을 사용하면 원격 위치에서 자산 매개변수를 모니터링할 수 있으므로 프로세스 제어가 항상 유지됩니다. TEL Alpha-8S-ZAR (Alpha-8S-ZAR) 은 반도체 제작 환경의 요구를 충족시키기 위해 설계되었으며, 사용자는 장기 어닐링 프로세스에 비해 탁월한 프로세스 제어 및 반복 능력을 제공합니다. 고급 안전 (Safety) 기능, 다양한 기능 및 리모콘 (Remote Control) 기능을 통해 까다로운 반도체 제작 산업에 이상적인 선택이 가능합니다.