중고 TEL / TOKYO ELECTRON (급속열공정장비) 판매용

TEL (Tokyo Electron Limited) 은 반도체 및 평면 패널 디스플레이 생산 장비의 주요 제조업체입니다. TEL은 제품 중 반도체 업계에서 널리 사용되는 RTP (Rapid Thermal Processor) 를 생산합니다. "RTP '는" 칩' 제조 공정 의 여러 단계 를 촉진 하기 위하여 반도체 "웨이퍼 '를 급속 히 가열 하고 냉각 시키는 열 공정 이다. TEL의 빠른 열 프로세서는 기존 용광로 기반 시스템에 비해 몇 가지 이점을 제공합니다. 첫째, 정밀하고 균일한 가열을 제공하여 프로세스 매개변수를 보다 효율적으로 제어하고, 웨이퍼 품질 (Wafer Quality) 과 장치 성능 (Device Performance) 을 향상시킵니다. 둘째, RTP 는 프로세스 시간을 단축하여 전반적인 운영 시간을 단축하고 처리량을 증가시킵니다. 게다가, 공정 엔지니어가 각기 다른 재료와 장치 구조에 대한 설정을 최적화할 수 있도록, 사용자 정의가 용이합니다. TEL의 빠른 열 프로세서의 예는 Alpha-8S-ZAR입니다. 이 모델은 고급 온도 조절 및 난방 균일성을 제공하여 뛰어난 프로세스 반복성을 보장합니다. 웨이퍼 표면에서 효율적이고 균일 한 가열을위한 멀티 존 램프 (multi-zone lamp) 디자인이 특징입니다. 또한, 우수한 온도 상승 속도와 냉각 속도 (cool-down rate) 를 제공하여 처리 시간이 단축됩니다. 알파 -8S-ZAR (Alpha-8S-ZAR) 을 포함한 TEL의 빠른 열 프로세서는 빠른 열 어닐링, 화학 증발, 산화와 같은 제조 공정에 널리 사용됩니다. 반도체 제조업체들 사이에서 "고급형 (advanced) '과" 고성능 (high-performance)' 을 선택해 정확하고 효율적인 열 처리를 가능하게 했다.