판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS #9192433

STEAG/MATTSON/AST SHS는 반도체 장치 생산에 사용하도록 설계된 견고한 고성능 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 급속히 가열되고 냉각되는 기판 (기판) 이 가능하며, 주로 배치 웨이퍼 (batch wafer) 의 처리 및 소형 장치의 생산 실행에 사용됩니다. AST SHS 프로세서는 QHZ (Quadruple Heated Zone) RTA (Rapid Thermal Annealing) 기술을 사용하는 3 챔버 대기 압력 RTP입니다. 각 챔버에는 정확한 온도 조절을 위해 4 개의 독립적으로 제어 된 난방 구역이 장착되어 있습니다. 각 영역의 온도는 원하는 정점 (set point) 의 +/- 0.01 ° C 내부로 독립적으로 조정할 수 있으므로 기판 전체에서 정밀한 온도 조절이 가능합니다. STEAG SHS는 또한 고속 가스 경로 흐름을 사용하여 효율적인 열 성능 및 균일성을 보장합니다. 흐름 속도는 난방 영역과 냉각 영역 모두에서 조정 할 수 있습니다. MATTSON SHS의 전체 디자인은 여러 단계로 구성됩니다. 여기에는 챔버, 프리 히터, 존 히터, 냉각 콘센트, 가스 콘센트 및 2 개의 가열 된 존 소스가 포함됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 기판 웨이퍼의 제어 된 열 사이클링을 제공하도록 설계되었으며, 열 효율을 최대화하기 위해 적외선 흡수 장치 (infrared absorber) 로 둘러싸여 있습니다. 프리 히터는 존 히터 (Zone Heater) 에서 처리하기 전에 기판의 빠른 가열에 사용됩니다. 존 히터 (Zone Heater) 는 섭씨 -150 ~ + 100도의 광범위한 온도를 수용하도록 조정 할 수있는 4 구역 시스템입니다. 냉각용 "콘셉터클 '은 기판 의 균일 한 냉각 에 도움 이 되며," 가스' 출구 는 "가스 '의 빠른 흐름 을 제공하여 균일 한 냉각 을 가능 하게 한다. 가열된 2 개의 zone 소스는 챔버 내에서 정확한 온도 제어를 제공합니다. SHS 는 배치 (batch) 또는 프로덕션 (production) 에서 작동할 수 있으며, 모든 시스템 매개변수의 프로그래밍을 단순화하기 위해 소프트웨어가 장착되어 있습니다. STEAG/MATTSON/AST SHS의 사용자 인터페이스는 간단하고 사용자 친화적이며, 시각적 피드백을 쉽게 할 수 있도록 다양한 그래픽 표현을 제공합니다. 수동 (Manual) 및 자동 (Automatic) 모드도 사용할 수 있으므로 프로세스의 능률적인 작동이 가능합니다. 또한, AST SHS는 처리 중 인력과 기판을 완벽하게 보호하기 위해 내장 안전 시스템을 갖추고 있습니다. STEAG SHS (STEAG SHS) 는 소규모 기기에서 대규모 디지털 반도체에 이르기까지 다양한 집적 회로를 생산하는 데 이상적인 옵션입니다. 독보적인 기술 및 사용자 친화적 인터페이스를 통해 효율적이고 안정적인 열 처리 (thermal processing) 기능을 제공합니다.