중고 STEAG / MATTSON / AST (급속열공정장비) 판매용

STEAG, MATTSON 및 AST는 빠른 열 프로세서로 유명한 제조업체입니다. 이 장치들은 반도체 제작 공정에 사용되어 가열과 냉각 웨이퍼 (wafer) 를 빠르게 냉각시켜 다양한 생산 단계에서 효율적이고 정확한 온도 조절을 가능하게합니다. 이 제조업체들이 제공하는 빠른 열 (rapid thermal) 프로세서는 빠르고 균일한 난방을 제공하도록 설계되었으며, 이는 높은 품질과 반복성을 유지하면서 프로세스 시간을 최소화합니다. 이 기계는 정확한 온도 제어를 위해 램프 기반 (lamp-based) 또는 레이저 기반 난방 시스템 (laser-based heating system) 과 같은 다양한 난방 기술을 사용합니다. 이러한 빠른 열 프로세서의 장점으로는 웨이퍼에 대한 열 스트레스 감소, 필름 품질 향상, 프로세스 유연성 향상 등이 있습니다. 고급 온도 조절 (temperature control) 기능을 통해 복잡한 반도체 장치의 제조를 가능하게하여 정확한 레시피 개발을 가능하게 합니다. 이러한 제조업체에서 제공하는 빠른 열 프로세서의 예로는 STEAG RTP2800 및 RTP2900 모델과 MATTSON Helios 시리즈가 있습니다. 이 기계에는 실시간 모니터링, 다중 온도 영역, 레시피 관리 시스템 등의 고급 기능이 장착되어 있습니다. 결국, STEAG, MATTSON 및 AST에서 제조 한 빠른 열 프로세서는 고급 온도 조절 기술을 제공하여 정확하고 효율적인 반도체 제조 프로세스를 제공합니다. 열 스트레스 감소, 필름 품질 향상, 프로세스 유연성 향상 등의 측면에서, 이 기계들은 복잡한 반도체 소자의 생산에 중요한 역할을합니다.