판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS #9119657

STEAG/MATTSON/AST SHS는 반도체 제조에서 편리하고 정확한 온도 조절, 정확한 온도 모니터링, 신뢰할 수있는 열 제어를 제공하도록 설계된 고급 고속 열 프로세서입니다. 이 제품은 프로세스 시간을 줄이고, 수율을 향상시키며, 기존의 열 프로세스에 비해 에너지 비용을 절감합니다. 이 빠른 열 프로세서는 패널 난방 및 냉각, 다이 큐링 (die curing) 및 다이오드 레이저 회로 개발의 고속 기능에 사용됩니다. 열 프로세서는 반도체 제조에 사용되는 -30 ° C ~ 250 ° C의 4 가지 표준 온도 중 하나를 지원합니다. 표준 사이클 시간은 1 초이며 온도 해상도는 0.01 ° C입니다. 이 제품은 정확한 온도 조절 기능을 제공하며, 빠른 냉각 (Rapid Cooling) 을 비롯한 여러 프로세스 조건에 맞게 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 제품은 우수한 동적 프로세스 제어 및 독점 PWM (Pulse Width Modulation) 기술을 통해 온도 오버슈트를 줄이고 열 그라디언트를 최소화하여 최적의 제품 매개변수를 보장합니다. 프로세서에는 여러 가지 안전 기능 (예: 지정된 안전 온도 범위 내에서 프로세스가 작동하는지 확인하는 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 및 방열판 온도의 지속적인 모니터링을위한 온도 (thermowell)) 이 포함됩니다. 여기에는 과열/전압 (over temper/under voltage) 조건의 경우 열 주기를 중지하는 자동 fail-safe 기능도 포함됩니다. 이 제품은 견고한 재질과 내구성 있는 건축물로 만들어져 있어, 견고한 제조 환경을 견뎌낼 수 있습니다. 냉각 온도 공기 (Cool temperature air) 는 이중 재순환 팬을 통해 순환되어 제품을 식히고 안전한 온도 수준을 유지합니다. 임베디드 (Embedded) 컴퓨터는 운영 모니터링 및 시스템 유지보수를 위해 경고, 알림, 경고가 가능한 반면, 추가 최적화를 위해 중요한 프로세스 매개변수에 대한 운영 제어, 기록, 표시 및 분석을 제공합니다. 이 제품에는 열 주기 매개변수 (thermal cycle parameters) 의 공통 프로파일 생성, 사용자 정의 난방 및 냉각 루틴 생성, 패널 열 프로파일 이미지 모니터링 등의 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 열 처리 (thermal process) 를 효율적으로 작동시켜 제품의 품질을 높일 수 있습니다. 또한 이 제품에는 직접 논리 I/O (직접 논리 I/O) 가 함께 제공되어 설치 유연성이 향상되었으며, 데이터 전송을 위해 다른 시스템과 원활하게 연결할 수 있습니다. 다양한 기능과 최첨단 열 프로세스 제어를 통해, AST SHS는 반도체 제조 및 생산에 완벽한 열 프로세서입니다.