판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #9238081

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ID: 9238081
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Rapid Thermal Processor (RTP), 8" Implant annealing AST Super heat system Hardware configuration: Main frame (2) ASYST Indexers 2200 Handler system: PRI Robots Process chamber Aligner Rough pump (AA40): Left Heat exchanger (SMC Chiller): Right 1997 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF 고속 열 프로세서 (Rapid Thermal Processor) 는 미세한 규모로 재료의 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 수정을 용이하게하기 위해 사용되는 특수 장치입니다. 이 도구는 열 환경 (thermal environment) 을 신속하고 정확하게 제어해야 하는 다양한 프로세스에 최적화된 솔루션입니다. 이 디바이스는 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있는 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 샘플의 빠른 열 내부 에너지를 위해 설계된 공진 주파수 드라이브 (Resonant Frequency Drive) 는 전체 샘플의 가열 시간을 최소화합니다. 필요한 온도에서, 정확한 온도 조절이 가능하면, 샘플을 정확한 목표에서 유지할 수 있습니다. 열 순환 매개변수는 1 초에서 4 천 초로 1 초 단위로 설정할 수 있으며, 이를 통해 열 기록 프로파일을 미세하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 또한 보호 대기 처리를 위해 분리 된 진공 및 가스 제어 챔버를 특징으로합니다. 이것은 샘플에 대한 분리 된 환경을 제공하며, 외부 오염으로부터 보호하고, 샘플 공간에서 반응성 가스 (reactive gase) 또는 비 반응성 가스 (non-reactive gase) 의 농도를 제어합니다. 유지 관리를 위해, 챔버 도어 (chamber door) 의 투명 창을 사용하면 필요한 경우 챔버 (chamber) 에 대한 액세스를 제공하는 동안 샘플을 직접 시각적으로 검사할 수 있습니다. AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processor는 최대 12 인치의 소형 및 대형 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 안전 경보 모니터링 장비 (Safety Alarm Monitoring Equipment) 가 장착되어 있어 안전하지 않은 조건이 발생할 때 사용자에게 경고합니다. 또한, 프로세서의 내장 냉각 시스템은 장치 온도 안정성을 유지하고, 가동 중지 시간을 줄이는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 STEAG SHS-2800SF Rapid Thermal Processor는 많은 산업 및 연구 실험실에서 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 정적 진공실 (static vacuum chamber) 과 정밀한 온도 조절은 효율적이고 반복 가능한 재료 수정을 가능하게한다. 또한 효율적인 냉각기 (Cooling Machine) 및 안전 경보 모니터링 도구 (Safety Alarm Monitoring Tool) 를 통해 사용자가 미세한 규모로 재료를 빠르고 안전하게 수정할 수 있습니다.
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