판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293815994

STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF RTP (Rapid Thermal Processor) 는 다양한 전기, 광학 및 광전자 장치에 대한 정확한 온도 제어를 제공하도록 설계된 강력하고 다양한 도구입니다. AST SHS-2800SF는 독립적인 고속 온도 조절 스테이지가 2 개인 단일 전자 컨트롤러로 구성됩니다. 1 차 단계는 최대 10 ° C의 정확성과 3 ~ 10 초의 응답 시간을 통해 균일 한 빠른 가열 및 냉각을 제공합니다. 이 단계는 RTA (rapid thermal annealing), 확산, 산화 및 규산화와 같은 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 2 단계는 빠른 냉각 기능을 제공하며 응답 시간은 4-15 초이며 냉각 속도는 최대 1000 ° C/초입니다. 이 온도 조절 단계는 빠른 열 질화물 및 빠른 열 산화와 같은 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. STEAG SHS-2800SF에는 고급 열전대 기반 온도 조절이 포함되어 있으며, 실시간으로 모니터링 할 수있는 정확한 온도 판독값을 제공합니다. 이 시스템은 또한 단일 샷 (single-shot) 및 연속 (continuous) 프로세스 주기를 모두 지원하므로 반복 가능하고 일관된 프로세스를 수행할 수 있습니다. 컨트롤러는 밀폐된 질소 제거 캐비닛으로 둘러싸여 있으며, 이 캐비닛은 온도 안정성 (temperature stability) 과 제어 (control) 수준을 추가로 제공합니다. 공랭식 에어 록 (airlock) 은 추가 보호 계층을 제공하여 챔버 분위기를 유지하면서 RTP로 또는 RTP로 기판을 전송 할 수 있습니다. MATTSON SHS-2800SF는 정확한 온도 조절 프로세스를 위해 강력하고 다양한 솔루션을 제공합니다. 온도를 균일한 난방 (uniform heating) 과 냉각 (cooling) 로 정확하게 조절하는 기능이 있으며, 고급 온도 조절 시스템은 반복 가능하고 일관된 프로세스를 제공합니다. 이 고성능 기기는 다양한 전기, 광학, 광전자 장치의 프로세스 개발 및 생산에 유용한 도구입니다.