판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092863

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor는 광범위한 산업 및 연구 응용을 위해 설계된 열 처리 장비입니다. 최대 두께가 0.2mm 인 직경 6 인치까지 웨이퍼를 처리하는 데 적합합니다. 그것은 최대 1100 ° C의 온도를 전달할 수있는 한 쌍의 용광로에 의해 가열 된 단일 챔버를 포함합니다. 이러 한 용광로 는 "챔버 '위 와 아래 에 위치 해 있으며, 전체 기판 에 균일 한 난방 장치 를 제공 할 수 있다. 이 시스템은 또한 높은 열 균일성, 높은 램프 속도 유연성, 광범위한 공정 가스 및 넓은 처리 압력 범위 (50 mbar C) 로 정확한 온도 제어를 제공합니다. 또한 9 개의 다른 가스를 운반 할 수있는 4 개의 가스 라인이있는 통합 가스 관리 장치를 보유하고 있습니다. 이 장치는 자동화되어 있으며 효율성을 극대화하기 위해 여러 레시피로 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동화된 해치 로드/언로드 (hatch load/unload) 도구와 프로세스 실행당 최대 30 개의 웨이퍼에 대한 웨이퍼 처리 에셋이 장착되어 있습니다. 또한 샘플 표면의 이중 뷰에 대한 프로세스 모니터가 있습니다. 또한, 이 모델은 인력, 장치, 기판을 운영 중 손상으로부터 보호하는 고급 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 모든 안전 장비 구성 요소, 과열 경보, 질소 입구 및 출구 흐름 검출기, 강력한 진공 컨트롤러 등의 자동 모니터링이 포함됩니다. 열 처리 시스템은 분산 제어 장치 인 PROCO Plus Interface를 통해 최종 사용자 소프트웨어와 통신합니다. 이를 통해 사용자는 2800E 의 통합 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하여 실시간 프로세스를 모니터링하고 원격 위치에서 웨이퍼 (Wafered) 프로세스를 실행하기 위한 프로그램을 설정할 수 있습니다. AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor는 고온 처리 및 웨이퍼 레벨 제조를위한 고급 기계입니다. 뛰어난 온도 조절 (temperature control) 을 통해 기판의 균일하고 일관된 가열을 제공하며, 직원, 장치, 기판을 보호하는 안정적인 안전 기능을 제공합니다. 많은 산업 및 연구 응용 프로그램에 적합하며, 자동 실행을 위해 레시피로 프로그래밍 할 수 있습니다.