판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092862

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor는 최대 온도에서 웨이퍼 및 기타 반도체 기판을 처리하는 데 사용되는 특수 장비입니다. 장비에는 두 가지 주요 구성 요소 인 챔버와 방산자가 있습니다. 방은 내부 공기 (shroud) 가있는 진공 내성, 이중 벽 챔버 (double wall chamber) 로 농축 된 열을 기판에 퍼닝하는 데 도움이됩니다. 방열제는 최대 1200 ° 섭씨 1200 ° 의 온도를 생성하도록 개별적으로 프로그래밍 된 9 개의 난방 요소 배열입니다. 가열 요소와 빠른 응답에 대한 엄격한 제어는 AST SHS 2800E 를 동급에서 가장 다양한 기계로 만듭니다. STEAG SHS 2800E는 주로 반도체 제조에서 빠른 열 어닐링, 확산 및 불순물 임플란테이션을 위해 사용됩니다. 최첨단 열 사이클 제어 장비 (state-of-the-art heat heat-cycle-control equipment) 를 사용하면 프로세스 매개변수 또는 웨이퍼를 수정하더라도 정확도로 최대 9 개의 사이클을 수행 할 수 있습니다. 이 온도 제어 정확도는 SHS 2800E를 폴리 실리콘 게이트 활성화, 금속 상호 연결 형성 및 SOI 장치 처리와 같은 복잡한 프로세스 단계에 이상적인 기계로 만듭니다. 이 기계 에는 또한 조그마 하고 움직 일 수 있는 "플랫폼 '이 들어 있어서" 웨이퍼' 를 기판 위 에 빠르고 쉽게 놓을 수 있다. 또한, 진공실 내부의 여러 증발을 허용하는 고급 증발기 제어 시스템 (advanced evaporator control system) 이 있습니다. 또한, 실시간 진단 장치가 장치에 통합되어 프로세스 매개변수, 온도, 가스 압력 및 기판 온도에 대한 자세한 피드백을 제공합니다. MATTSON SHS 2800E는 크기가 컴팩트하며 챔버 냉각을 최적화하는 에어컨 머신 (에어컨) 이 내장되어 있습니다. 총 공정 속도 가 시속 200 "웨이퍼 '에 이르면, 이 장치 는 엄청나게 효율적 이며, 반도체 제작 에 이상적 인 선택 이다. 또한 사용자 친화적 인 제어 툴 (Control Tool) 이 제공되며, 이 툴은 프로그래밍과 이해가 용이하여 산업연구소와 연구실 모두에게 적합한 선택입니다. 요약하면, STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor는 시장에서 가장 안정적이고 효율적인 기계 중 하나입니다. 고정밀도 온도 제어 (HPC) 및 다중 사이클 프로그래밍 기능을 통해 모든 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.