판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E / 2800 CS #9179203

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E/2800 CS는 다중 영역 고속 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 에너지가 풍부한 적외선 플라즈마를 사용하여 빠르게 가열, 냉각, 연쇄 및 기타 프로세스 웨이퍼를 사용하도록 설계되었습니다. 이 제품은 생산 환경을 위해 제작된 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 장비입니다. 이온 임플란트 호환 장비는 정확성과 정확성으로 가장 복잡한 구조조차도 빠르게 처리 할 수 있습니다. 프로세서의 다중 영역 설계에는 3 개의 독립적 인 난방, 표면 냉각 및 냉각 영역이 포함됩니다. 각 개별 영역에는 솔리드 스테이트 릴레이 (solid state relay) 가 장착되어 있어 고속 및 균일 한 온도 사이클링이 가능합니다. 프로세서 컨트롤러의 빠른 처리 속도와 함께, 이러한 기능은 효율적인 열 프로세스 시퀀스 (thermal process sequence execution) 를 제공합니다. AST SHS 2800E/2800 CS의 축 샤워 헤드 시스템은 프로세서의 핵심 기능입니다. 소형 및 대형 웨이퍼 모두에서 고도로 균일 한 열 프로파일을 달성하기 위해 고속 강제 공기 (forced-air) 대류 장치를 사용합니다. 강제 공기 대류 머신 (Forced-air convection Machine) 은 처리 중 웨이퍼의 뒷면 충전 빌드를 최소화하기 위해 투명 쿼츠 쉴드와 결합됩니다. STEAG SHS 2800E/2800 CS 에는 프로세스 환경에 대한 자동 종료 (automatic-off) 및 지속적인 낮은 수준의 실시간 모니터링 등 다양한 내장 안전 기능이 제공됩니다. 이러한 기능은 프로세서가 안전하고 확정된 안전 지침 내에서 작동하도록 합니다. SHS 2800E/2800 CS는 열 처리 기능 외에도 가스 전달, 레이저 다이빙 (laser dicing) 등을 포함한 다양한 부가 처리 필수품과도 호환됩니다. 이 프로세서는 PEDOT: PSS, 복합 반도체 제품의 버퍼 계층 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. MATTSON SHS 2800E/2800 CS는 안정적이고 반복 가능한 결과, 고효율, 저비용 작동 및 고속 열 사이클링을 제공하는 고성능 멀티 존 (multi-zone) RTP입니다. 이 다양한 장비는 다양한 어플리케이션에 적합하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 구성을 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다.