판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #9096061

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800은 웨이퍼 및 기판의 빠르고 정확한 열 처리를 위해 설계된 고급 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 빠른 열 어닐링 및 빠른 열 산화 과정을위한 최첨단 도구입니다. AST SHS 2800은 태양 에너지 조건을 정확하게 제어 한 균일 한 시스템에서 빠른 열 처리를 허용합니다. 각 챔버에는 2 개의 독립적 인 온도 영역이 있으며, 이는 원하는 조합으로 프로그래밍 될 수 있으며, 최대 온도 2400 ° C에 도달 할 수 있습니다. STEAG SHS-2800 의 독특한 설계는 교차 변형을 방지하고 입자 생성의 영향을 제한하여 민감한 기판에 대한 추가 보호를 제공합니다. 이 도구에는 다양한 고급 진단 (advanced diagnostics) 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 온도 (wafer temperature), 가스 흐름 (gas flow), 챔버 내부의 압력 (pressure) 과 같은 변수를 정확성과 정밀도로 측정 할 수 있습니다. 또한 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 통해 잠재적인 위험을 예방하고 안전한 운영을 보장할 수 있습니다. MATTSON SHS 2800은 시간당 최대 200 300mm 또는 400 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 빠른 처리 속도를 보장합니다. 또한 단일 웨이퍼 투여 플랫폼으로, 일관된 웨이퍼 가열을 보장하고 열 폭주를 제거합니다. 또한이 도구는 기판에 대한 뛰어난 정확도를 제공하며, 정확한 온도 조절 및 균일성이 필요합니다. SHS 2800 Rapid Thermal Processor는 고급 진단 및 안전 기능으로 빠른 열 처리를 보장하며, 안전하고 효과적인 작동을 보장합니다. 최대 2400 ° C의 온도와 잠재적 인 위험에 대한 보호 기능을 갖춘 뛰어난 프로세스 균일성을 제공합니다. 마지막으로, 단일 웨이퍼 투여 플랫폼은 기판 전체에서 가열의 빠른 처리량과 일관성을 보장합니다.