판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #9155403

STEAG/MATTSON/AST SHS 2000은 반도체 제조업체가 고품질 반도체 웨이퍼를 효율적으로 생산할 수 있도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 강력한 적외선 램프와 에어 제트 (air jet) 시스템을 사용하여 웨이퍼 표면을 빠르게 열처리합니다. 빠른 열 처리 (Rapid thermal processing) 는 웨이퍼에 다른 처리 상태를 생성하는 데 사용되는 반도체 생산에서 중요한 단계입니다. AST SHS 2000은 다양한 요구에 맞게 최적화 될 수있는 모듈식 RTP 시스템입니다. 램프 엔클로저, 프로세스 제어 모듈 및 냉각 프레임으로 구성됩니다. 공정에 가장 적합한 에너지 범위 (energy range) 와 전력 요구사항 (power requirements) 을 선택할 수 있는 다양한 램프가 제공됩니다. 프로세스 제어 모듈은 정확하고 반복 가능한 열 경사, 적신 (soak) 및 냉각 (cooldown) 프로파일을 보장하여 이상적인 처리 조건을 만듭니다. 팬 속도를 조정할 수 있는 내장 냉각 프레임을 사용하면 웨이퍼 표면 온도를 빠르게 줄일 수 있습니다. 기계는 작동하기도 매우 쉽습니다. Touch Screen이 있는 독점 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 매개변수와 설정을 빠르고 정확하게 조정합니다. 또한 GUI는 품질을 그대로 유지하면서 처리 속도를 극대화합니다. 또한 STEAG SHS-2000 은 유지 보수 비용과 부품 가용성이 낮아 장기간에 걸쳐 안정성과 비용 효율성을 보장합니다. MATTSON SHS 2000 은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리하려는 반도체 제조업체를 위한 효율적이고 경제적인 솔루션입니다. 사용 편의성, 유지 관리 비용 및 모듈식 설계로 인해 AST SHS-2000은 반도체 생산을 능률화하는 데 적합합니다.