판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #293639177

STEAG/MATTSON/AST SHS 2000 빠른 열 프로세서는 다양한 재료에서 열 처리를 수행하기 위해 매우 정확한 장비입니다. 프로세서는 다양한 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 복잡하고, 미세하게 조정된 방식으로 작동하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 프로세서는 단일 자동 로더를 갖추고 있으며, 기판 로드 및 언로드 프로세스를 간소화합니다. 이 기능은 직경이 최대 8 인치 인 최대 12 개의 쿼츠 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. 웨이퍼는 회전 (rotating) 구성으로 배열되어 있어 빠르고 효율적인 로드/언로드 방법을 제공합니다. 프로세서는 또한 열 처리를 수행하기 위해 2 구역, 다중 구역 챔버를 갖추고 있습니다. 2 구역 챔버 (two-zone chamber) 는 일관된 온도, 균일 한 난방 및 냉각을 제공하여 바람직하지 않은 변동을 제거하도록 설계되었습니다. 멀티 존 (multi-zone) 챔버 (chamber) 는 기판의 다른 부분에 다른 온도를 적용하는 옵션을 제공하여 결과를 더 많이 제어할 수 있습니다. 프로세서는 또한 RF 튜닝 램프 (tuned lamp) 또는 LED 램프 (LED lamp) 를 사용하여 처리 중인 기판에 필요한 열 공급원을 제공합니다. 램프는 조절 가능한 DC 전원 공급 장치 (어플리케이션의 요구 사항에 맞게 특별히 조정할 수 있음) 로 구동됩니다. 프로세서는 또한 온도 조절 시스템 (temper control system) 을 통해 기판의 정확한 온도 및 열 공정의 정확한 매개변수 (parameters) 를 모니터링할 수 있습니다. 이 기능을 제공하기 위해 온도 표시기 (temperature indicator) 와 데이터 로거 (data logger) 를 사용하여 정확한 데이터를 볼 수 있습니다. 마지막으로, 프로세서에는 사용자, 기판, 기계 자체를 보호하는 다양한 안전 (safety) 기능이 있습니다. 여기에는 과온 (over temperature) 보호 (over temperature protection) 가 포함되며, 기판의 온도를 모니터링하고 제어하여 원하는 온도 제한을 초과하지 않도록 합니다. 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼도 있으며, 긴급 발생 시 기계를 즉시 종료할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, 프로세서는 독점적인 소프트웨어와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 사용하여 효율적이고 정확한 작동을 가능하게 합니다. 이 모든 것 (combined) 은 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있는 효율적이고 안정적인 빠른 열 (thermal) 프로세서를 생성합니다.