판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281781

STEAG/MATTSON/AST Helios는 생산 및 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. "밀리초 '의 정확도 와 정밀도 로 850" ° C' 이상 의 짧은 시간 에 "샘플 '을 가열 할 수 있다. 이 장치에는 완전 자동 제어 장비 (Fully Automated Control Equipment) 가 장착되어 있어 균일성이 높은 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. AST Helios RTP에는 고급 2 구역 난방 디자인이 제공되어 각 영역이 독립적으로 실행됩니다. 이 로 말미암아 난방 과정 에서 보다 높은 정도 의 균일성 과 정밀성 을 달성 할 수 있게 된다. 그렇다. 두 튜브 각각에는 강력한 흑연 절연 매트릭스 (graphite insulating matrix) 와 텅스텐 필라멘트 (tungsten filament) 가 포함되어 열적 특성이 향상됩니다. 신뢰성 향상을 위해, 시스템은 정교한 피드백 루프 (feedback loop) 와 제어 장치 (control unit) 를 갖추고 있어 매우 빠른 응답과 정밀한 온도 조절이 가능합니다. STEAG Helios RTP는 또한 고급 열 산화 머신 (thermal oxidation machine) 을 특징으로하여 재료의 높은 처리량 및 저온 산화를 가능하게합니다. 이 도구는 반도체 소자 생산과 같은 고속 산화 공정이 필요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 또한 빠른 결정 성장, 박막 증착 (Thin film deposition) 등 정밀 열 조절이 필요한 다른 프로세스에도 적합합니다. Helios RTP에는 고급 다중 스펙트럼 이미징 에셋 (multi-spectral imaging asset) 이 포함되어 있어 샘플 온도 및 산화 상태를 정확하게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 이 모델은 다른 소프트웨어 (Software) 및 하드웨어 (Hardware) 시스템과 결합될 수 있으므로 열처리를 특정 응용프로그램에 최적화할 수 있습니다. MATTSON Helios RTP는 Cleanroom 응용 프로그램을 위해 설계되어 프로세스 실행에 매우 안전한 환경을 제공합니다. 여기에는 높은 수준의 환경 통제 (Environmental control) 와 유해한 정전기 및 정전기 배출에 대한 강력한 보호 기능이 포함됩니다. 또한 열 처리 (thermal process) 의 제어가 향상되고 장비 수명이 증가합니다. 전반적으로 STEAG/MATTSON/AST Helios는 고급적이고 신뢰할 수있는 열 프로세서입니다. 고도의 성능과 정확도를 제공하며, 다양한 첨단 열 처리 (high-tech thermal process) 애플리케이션에 적합합니다.