판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9275252

STEAG/MATTSON/AST Helios는 열 어닐링 및 웨이퍼 처리에 사용되는 고급 고속 열 프로세서입니다. 이 제품은 우수한 온도 균일성과 크고 작은 기능의 고속 어닐링 (high rate annealing) 을 위해 고급 기술을 기반으로 제작되었습니다. 프로세서는 개별 부품과 웨이퍼 모두에 대해 다양한 연간 온도 (anneal temperature) 와 빠른 처리 속도 (throughput) 를 제공합니다. AST Helios는 6 "X 6" 핫 존과 함께 제공되며 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 가열 할 수 있습니다. STEAG Helios의 혁신적인 디자인은 모든 재료의 효율적인 어닐링을 가능하게합니다. 강력한 직접 가열 기술은 정확한 프로세스 제어를 통해 뛰어난 온도 균일성을 생성합니다. 고급 온도 조절 장비 (Advanced Temperature Control Equipment) 는 미리 선택된 영역의 온도가 정확하고 일관성을 보장하여 어닐링 프로세스를 더욱 효율적이고 균일하게 만듭니다. MATTSON Helios는 또한 빠른 열 처리를 제공하며, 최대 램프 속도는 초당 1000 ° C입니다. 개별 열 주기의 프로세스 속도 및 처리 시간을 증가시킵니다. 또한 실시간 웨이퍼 모니터링, 고급 온도 프로파일링 (advanced tempering profiling), 피로 테스트 (fatigue testing) 등 다양한 프로세스 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 다른 기능으로는 신뢰할 수있는 냉각 장치, anneal 프로세스 제어를위한 특수 소프트웨어, auto-alignment machine 등이 있습니다. Helios는 또한 통합 질소/헬륨 퍼지 라인 (helium purge line) 옵션을 가지고 있으며, 이는 예열이 빠르고 산화 및 오염으로부터 민감한 물질을 보호합니다. 웨이퍼의 과잉 처리를 방지하기 위해 내장된 보호 및 안전 도구를 제공합니다. STEAG/MATTSON/AST Helios는 정기적으로 사용하더라도 쉽게 서비스 및 유지 보수할 수 있도록 설계되었습니다. AST Helios의 다른 장점으로는 유연한 사용성과 높은 자산 가동 시간이 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 STEAG Helios는 모든 열 처리 응용 프로그램에 대해 완벽한 선택이 가능합니다.