판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273943

STEAG/MATTSON/AST Helios는 anneal, oxide, nitride 및 diffusion과 같은 광범위한 온도 프로세스를 지원하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 업계를 선도하는 이 도구는 열 공정에 대한 정확한 열 제어, 정확한 온도 균일성, 빠른 주기 시간을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 단계에 대한 레시피 (recipe) 를 저장하고 리콜할 수 있는 유연한 프로그래밍 옵션과 빠른 구성 설정 (fast configuration setup) 을 지원하는 직관적인 인터페이스 (interface) 를 제공합니다. AST Helios에는 우수한 온도 균일성과 제어를 제공하는 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 난방기 (heater power) 가 별도로 제어되는 2 단계 난방 시스템을 활용하고, 다양한 제어 알고리즘이 사용되어 정밀한 온도 제어를 보장합니다. 가열 요소는 또한 온도 변동에 대한 높은 공차 (tolerance) 를 가지며, 다양한 반복 가능한 프로파일을 제공합니다. STEAG Helios는 또한 통합 압력 제어 압력 챔버 (pressure-controlled pressure-chamber) 를 사용하여 빠르게 고온에 도달하고 웨이퍼 전체에 균일 한 온도 분포를 보장 할 수 있습니다. 또한 온도 센서와 최대 1000C 온도에 견딜 수있는 압력 챔버가 특징입니다. 이 시스템은 프로세스 시간이 짧고 정확도가 큰 빠른 열 사이클 (thermal cycle) 을 수행하므로 프로세스 재생성이 향상됩니다. 또한 웨이퍼에 대한 실시간 열 그래피 (thermography) 및 사분면 (quadrant) 모니터링을 통해 사용자가 프로세스 진행 상황을 관찰하고 모니터링 할 수 있습니다. Helios 는 고급 데이터 수집, 신호 수집 (signal acquisition), 제어 소프트웨어 (control software) 를 활용하여 원격 및 네트워크를 통해 시스템을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 프로세스를 중단하지 않고 열 주기 (thermal cycle) 를 쉽게 수정할 수 있습니다. MATTSON Helios는 시장에서 가장 강력하고 신뢰할 수있는 빠른 열 프로세서 중 하나입니다. 온도 조절 (Temperent Control) 과 균일성 (uniformity) 은 물론 빠른 주기 (cycle time) 및 유연한 프로그래밍 옵션으로 열 프로세스에 대한 선택이 가능합니다.