판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273940

STEAG/MATTSON/AST Helios는 고급 고속 열 프로세서 엔진으로, 반도체 산업을 위해 특별히 향상된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 (wafer) 와 단일 로드맵의 다양한 온도 플레이에 걸쳐 높은 열 균일성을 제공 할 수 있습니다. 또한 AST Helios는 엄격한 프로세스 마진으로 뛰어난 웨이퍼 처리량과 높은 반복성을 제공합니다. STEAG Helios는 고출력 2000 W Radiant Heating Source 및 Cooling Flush 기술을 사용하여 기판에 빠른 열 처리를 제공합니다. 또한 기판과 공정 챔버 벽 (process chamber wall) 간의 간섭 효과를 제거하기위한 독특한 특허 콜드 월 (Patented Cold Wall) 디자인이 포함되어 있습니다. 따라서 사용 시간이 크게 단축되고 주기가 훨씬 짧아집니다. Helios에는 DTM (Digital Thermal Control Message Bus) 및 PTM (Predictive Thermal Control Messaging) 을 사용하는 인상적인 제어 시스템이 있습니다. 이를 통해 모든 중요한 프로세스 매개변수에 대한 정확한 닫힌 루프 제어 (closed loop control) 를 허용하고 빠른 열 처리 (rapid thermal processing) 에 대한 새로운 표준을 설정합니다. 또한 고급 오류 관리 시스템 (advanced fault management system), 고급 프로세스 매개변수 모니터링 (advanced process parameter monitoring) 등 다양한 정교한 진단 기능을 갖추고 있습니다. MATTSON Helios는 또한 개방형 시스템 아키텍처, 내장 안전 인터 록 (Built-in Safety Interlock), 종합적인 비상 정거장 (Emergency Stop) 과 같은 다양한 향상된 안전 기능을 통해 항상 최대한의 안전을 보장합니다. 전반적으로 STEAG/MATTSON/AST Helios는 고급 기술과 최첨단 설계를 갖춘 뛰어난 빠른 열 프로세서입니다. 또한 경제적인 비용으로 Wafer 처리량과 높은 반복성을 향상시키고 RTP, WTL, Annealing, Oxidation, Diffusion 및 기타 SiC 프로세스 애플리케이션을 위한 안정적이고 유연하며 안전한 솔루션을 제공합니다.