판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270998

STEAG/MATTSON/AST Helios는 단일 배치에서 작은 배치로 빠르게 가열하고 웨이퍼 샘플을 식히도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 RTP 장비는 저압 챔버, 퍼니스 어셈블리, 전기장 변조기 및 대기 압력 변화 시스템의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. 저압 챔버는 온도가 조절되고 건조한 밀봉 된 대기를 제공합니다. 용광로 어셈블리를 사용하면 웨이퍼 샘플을 균일하고 빠르게 가열 및 냉각할 수 있습니다. 이 "히터 '는 여러 개 의 가열" 히터' 와 냉각 "히터 '로 이루어져 있는데, 그것 은 온도" 프로파일' 을 만들기 위하여 "샘플 '의 후방 판 으로 분리 된다. 이를 통해 샘플에 대한 정확한 온도 조절 및 분배가 가능합니다. 전기장 변조기 (electric field modulator) 는 샘플을 가로 질러 웨이퍼의 전기장을 변경하여 전자-구멍 밀도비를 조절하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 예제에 짝수 열 프로세스가 적용됩니다. 마지막으로, 대기 압력 변화 장치 (atmospheric-pressure change unit) 는 냉각 또는 가열 과정을 정확하게 제어하기 위해 챔버 압력의 정확한 제어를 가능하게합니다. AST Helios는 섭씨 120에서 1000도의 온도에 2 분 이내에 도달 할 수 있습니다. 사용자는 SmartMonitor 소프트웨어를 사용하여 여러 개의 처리 레시피/로드를 프로그래밍할 수 있으며, 프로세스의 진행 상황을 직접/원격으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 STEAG Helios (STEAG Helios) 는 사용자와 샘플을 보호하기 위해 설계된 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 비활성 가스 채우기 연결, 챔버 강제 공기 냉각, 온도 경보, 연기 감지 장치 등이 포함됩니다. MATTSON Helios RTP 도구는 빠른 처리, 샘플 온도의 거의 균일 함, 안전성 향상, 정확한 제어 등 여러 가지 이점을 제공합니다. 이 빠른 열 프로세서는 반도체, 재료 연구, 공정 개발, 장치 제조 등 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다.