판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270883

STEAG/MATTSON/AST Helios는 고속 정밀 온도 제어를 제공하는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. AST Helios는 복사 냉각을 통한 대류, 저항 가열 및 냉각을 결합하여 빠른 열과 시원한 웨이퍼를 사용합니다. 3 개의 독립적으로 제어 가능한 챔버를 갖추고 있어 샘플의 온도 처리가 빨라집니다. 특허를받은 질화물 가열 요소를 지능형 마이크로프로세서 제어 논리로 사용하여 STEAG 헬리오스 (STEAG Helios) 는 최소 오버 슈트 및 열 CAE 시간으로 정확한 열 성능을 제공합니다. MATTSON Helios는 최첨단 장치 제조에 필요한 높은 수준의 정밀도를 달성하기 위해 균일하고 반복 가능한 온도 프로파일을 제공하도록 설계되었습니다. 온도 프로파일의 정확도와 균일 성 (uniformity) 은 방출 된 방사선에서 광학적으로 감지 가능한 저항 패턴으로 뒷받침됩니다. 또한 Helios는 정확한 온도 오버 슈트 제어를 할 수 있습니다. 직관적 인 소프트웨어 인터페이스를 통해 프로그래밍 할 수있는 STEAG/MATTSON/AST Helios는 다양한 장치 유형을 수용하기 위해 난방 및 냉각 주기를 위해 여러 파형 선택을 제공합니다. AST Helios는 웨이퍼 표면의 열 응력을 최소화하기 위해 빠른 열 가열 및 냉각 시간을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 STEAG Helios는 내부 팬을 사용하여 우수한 공기 순환 및 냉각 성능을 제공합니다. 매트슨 헬리오스 (MATTSON Helios) 는 공간 절약형 설계를 갖추고 있으며, 넓은 공간에 손쉽게 설치할 수 있어 R&D 및 프로덕션 환경 모두에 적합합니다. 헬리오스 (Helios) 의 디자인은 또한 비교적 낮은 유지 관리를 가능하게하며 유지 보수를 위해 챔버에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 전반적으로 STEAG/MATTSON/AST Helios는 강력하고 컴팩트한 빠른 열 프로세서로, 다양한 환경에서 안정적이고 정밀한 온도 제어를 제공합니다. R&D 및 생산 설정 모두에 이상적인 AST 헬리오스 (AST Helios) 는 정확한 온도 프로파일을 보장하고 웨이퍼에 대한 열 응력을 줄여 정밀 장치 제조에 필수적인 도구입니다.