판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9255871

STEAG/MATTSON/AST Helios는 반도체 장치 제조를위한 고온 난방 솔루션을 제공하기 위해 제작 된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. "RTP '는 기판 의 온도 를 주위 에서 정해진 최대 온도 로, 1 분 내 에 급속 히 변화 시킬 수 있다. 기판의 방사선 기반 가열 (radiation-based heating) 을 사용하여, 원하는 온도를 효율적으로 생성하도록 최적화된 파장 범위에서 작동합니다. "RTP '는 기판 전체 에서 온도" 프로파일' 을 생성 할 수 있기 때문 에 기질 의 "어닐링 '처리 에도 사용 될 수 있다. AST Helios 장비는 전자 레인지 발전기, 전자 레인지 안테나 및 반응 챔버의 3 가지 구성 요소로 구성됩니다. 발전기 에는 "마이크로 '파 로 전력 을 전환 시키는 데 필요 한 부품 들 이 들어 있는데, 그 부품 들 은" 안테나' 에서 반응실 로 복사 된다. 반응 챔버 안 에는 "마이크로 '파 를 기질 에 집중 시키는" 쿼츠' 반사체 의 배열 이 있는데, 이것 은 기질 에 의한 "에너지 '흡수 를 조절 한다. 석영 반사체는 불균일 한 에너지 흡수를 감소시켜 전체 기판에 균일 한 온도 프로파일 (temperature profile) 을 제공하는 방식으로 배열됩니다. 정확한 온도 조절을 위해 STEAG Helios 시스템에는 자동 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "마이크로 '파 발전기 의 동력 이 자동적 으로 조정 되어 원하는 온도 를 유지 하게 된다. 이 장치는 또한 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 사용하여 냉각을 위해 가열된 가스의 흐름을 제어합니다. 이것 은 "기판 '을 신속 히 냉각시켜, 장치 의 과열 및 열 손상 을 방지 할 수 있다. Helios 기계는 안정적이고 효율적인 빠른 열 프로세서입니다. "뉴우요오크 '는 전체 기판 에 균일 한 온도 분포 를 제공 할 수 있으며, 전자 기기 의 급속 한 열" 어닐링' 에 이상적 이다. 또한, 정확한 온도 조절 및 효율적인 냉각을 통해 제조업체는 효율적이고 경제적인 방법으로 고품질 (고품질) 장치를 생산할 수 있습니다.