판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9241199
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STEAG/MATTSON/AST Helios는 범용 처리 및 특수 응용 프로그램 모두에 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. "뉴우요오크 '는 정확 한 온도" 프로파일' 을 제공 하면서 단기간 내 에 재질 을 고온 으로 빠르게 가열 시킬 수 있는 능력 을 가지고 있다. AST 헬리오스 (AST Helios) 는 다양한 RF 생성기를 사용하며 스위치 기어를 사용하여 정밀한 온도를 통해 일정 또는 프로그래밍 된 속도로 빠르게 가열하고 순환합니다. 이 공정은 열전대 및 광학 방출 분광학 (optical emission spectroscopy) 을 사용하여 모니터링되어 정확한 온도가 달성됩니다. 정밀도를 더욱 향상시키기 위해, 열전도 세라믹 거울은 RF 발전기에서 생성 된 적외선 복사를 반영하는 데 사용된다. 높은 열 플럭스 레이트와 결합 된 정확한 온도 제어를 통해 STEAG Helios (STEAG Helios) 는 다른 많은 열 처리 방법보다 빠르게 재료를 처리 할 수 있습니다. 결과적으로 주기 시간이 단축되고 처리량이 증가합니다. 또한, 다른 공정 중에서 저온 활성화 어닐링, 확산 결합 및 확산 코팅을 수행하는 데 사용될 수있다. Helios의 모듈식 설계는 맞춤형 구성을 가능하게하여 반도체 제조, 마이크로 일렉트로닉스 제조, 촉매 표면 수정 (catalytic surface modification) 등 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 또한 제어 시스템 (Control System) 도 사용자 정의가 용이하여 다른 재료에 대한 레시피로 맞춤형 처리 레시피를 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 MATTSON Helios 에는 장치 및 해당 구성 요소의 안전한 작동을 보장하는 추가 안전 (Safety) 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 과열 (over-temper) 및 과전류 안전 시스템 (over-current safety system), 비상 정지 버튼 및 고온 보호 시스템 (High Temperature Protection System) 이 포함되어 있습니다. STEAG/MATTSON/AST Helios는 고정밀도 및 품질 처리가 필요한 사람들에게 이상적인 솔루션입니다. 모듈식 설계 및 사용자 지정 기능을 통해 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 게다가, 온도가 단단하고, 열 플럭스 속도가 높아 가장 효율적인 고속 열 (rapid thermal) 프로세서 중 하나입니다.
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