판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9228858

STEAG / MATTSON / AST Helios
ID: 9228858
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
STEAG/MATTSON/AST Helios는 다양한 샘플 유형의 높은 처리량, 대용량 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 저주기의 시간과 열 공정의 정확한 제어가 특징이며, 태양 광, LED, 고전압 전자 제품, 수동 및 활성 장치 제작, 기타 여러 응용 분야에 이상적인 도구입니다. AST Helios RTP는 샘플을 미리 정해진 온도로 균일하게 가열하고 냉각시켜 작동합니다. 샘플 홀더는 고정밀 쿼츠 적외선 가열 벨트 (high precision quartz infrared heating belt) 와 수냉식 감수기 (water-cooled susceptor) 로 둘러싸여 정밀 온도 조절 및 빠른 응답이 가능합니다. 서셉터는 샘플 홀더와 쿼츠 적외선 가열 벨트 (quartz infrared heating belt) 사이의 절연 레이어 역할을하여 샘플 홀더와 해당 내용의 균일 한 가열을 보장합니다. STEAG Helios RTP는 사용자에게 친숙한 자동화 및 낮은 장비 복잡성을 제공합니다. 수직 설계는 샘플 홀더 (sample holder) 에 쉽게 액세스 할 수 있으며, 장치 자체에는 가스 (gas) 또는 진공 (vacuum) 연결을 위한 여러 포트가 장착되어 있습니다. 또한, RTP 는 최대 64 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 빠르고 정확하게 반복할 수 있습니다. MATTSON Helios RTP는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 시스템으로, 온도 균일성은 +/-1 ° C, 램프 속도는 750 ° C/minute입니다. 고출력 등급 (12 kW) 은 빠른 열 프로세스를 보장하며, 특수 보상 알고리즘을 통해 반복성이 보장됩니다. 이 장치에는 과열 방지 (over-temper protection), 비상 정지 (emergency stop), 전원 공급 장치 모니터 등 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전체적으로 Helios는 처리량이 많은 응용 프로그램에 이상적인 열 프로세서입니다. 정밀한 온도 조절, 낮은 머신 복잡성, 고급 안전 기능 (Advanced Safety Feature) 을 통해 매우 안정적이고 반복 가능한 툴이 되어 다양한 제작 프로세스에 적합합니다.
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