판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9211046

STEAG/MATTSON/AST Helios는 빠른 열 프로세서 (RTP) 로, 빠른 속도와 높은 반복성, 저렴한 열 처리를 가능하게 합니다. 일련의 고출력 할로겐 램프 (halogen lamps), 쿼츠 전극 (quartz electrrod) 및 조절 가능한 히터 (heater) 를 통해 주어진 샘플의 온도를 빠르게 제어함으로써 작동합니다. AST 헬리오스 (AST Helios) 는 정교한 디지털 컨트롤러를 사용하여 원하는 온도 프로파일을 설정하고 샘플이 정확하고 일관된 온도에 노출되는지 확인합니다. 이 컨트롤러는 PID (Proportional, Integral 및 Derivative) 알고리즘을 사용하여 기계가 샘플 온도를 매우 정밀하게 조정할 수 있습니다. STEAG Helios는 최대 70 x 85mm 크기의 샘플을 처리 할 수 있으며 최대 온도 범위는 30 ~ 1400 ° C입니다. 2000 ° C 정도의 온도에 도달 할 수 있지만, 이것은 맞춤형 오븐 부착을 통해 수행됩니다. RTP에는 복잡한 온도 프로파일을 빠르게 달성하기위한 여러 사전 프로그래밍 된 설정이 있습니다. 특수 열 조절 챔버 (thermal control chamber) 를 사용하여 샘플의 세트 온도를 빠르게 변경합니다. "가스 '의 흐름 을" 시임 챔버' 로 조절 함 으로써 "가스 '는 짧은 시간 내 에 정확 한 결과 를 얻을 수 있다. 또한 Helios는 빠른 샘플 로드 및 언로드를 허용합니다. 여기에는 위에서 언급 한 샘플 크기로 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 특수 운송 단계가 있습니다. 이 단계에서는 샘플을 자동으로 로드하고 언로드하여 필요한 사용자 개입량을 줄입니다 (영문). MATTSON Helios의 고온 정확도, 빠른 온도 사이클링 및 조절 가능한 온도 범위는 어닐링, 소결성, 확산 및 폴리 이마이드 에칭과 같은 수많은 프로세스에 이상적인 도구입니다. 자동화된 로딩과 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 업계 및 연구 실험실에서 사용할 수 있습니다. 결론적으로 STEAG/MATTSON/AST Helios는 매우 정확하고 반복 가능한 RTP입니다. 사용자 친화적 인 디자인과 다양한 기능을 통해 다양한 열 처리 (thermal processing) 애플리케이션에 적합합니다.