판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297

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급속열공정장비
제조사
STEAG / MATTSON / AST
모델
Helios
ID: 9206297
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12" (2) Process chambers (3) FOUP Carrier ID reader: Hermos RF CID SECS / GEM MBC Soak anneal controller Low temperature option: Including low temperature MBC Fast cooling option: FAC / USJF Low concentration processing kit Over pressure control Gasses: N2, 20 SLM N2, 150 SCCM O2, 150 SCCM O2, 20 SLM O2, 2 SLM Ar, 150 SCCM Ar, 20 SLM O2, 200 SCCMO APF Faceplate 2005 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST Helios는 정확한 열 처리 기능을 제공하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 독보적인 설계를 활용하여 처리량을 극대화하고 생산성을 높입니다. AST Helios는 여러 가지 런타임 제어 기능을 사용하여 챔버에서 정확한 온도 조절을 제공합니다. 이 열 정확도는 PID (비례, 적분 및 파생), 강력한 코어 온도 제어 시스템 및 독립 프로세스 영역 모니터링을 포함한 다양한 온도 조절 기술로 달성됩니다. 이것 은 "챔버 '를 통과 하는 각 기판 의 온도 를 정확 히 제어 해 준다. STEAG Helios는 또한 놀라운 속도를 제공하여 온도가 빠르게 상승하고 떨어질 수 있습니다. 전체 기판 모집단 을 한 번 에 처리 할 수 있기 때문 에, 이것 은 처리량 을 증가 시키는 작용 을 한다. MATTSON Helios는 10 초 이내에 최대 1,300 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 헬리오스 (Helios) 가 제공하는 빠른 속도와 정확한 온도 조절 외에도 공간 절약형 디자인이 있습니다. 작업에는 더 작은 설치 공간 만 필요합니다. STEAG/MATTSON/AST Helios는 쉽게 설치 및 제거 할 수 있으며, 산업 및 실험실 응용 프로그램에 편리한 옵션을 제공합니다. 또한 프로그래밍이 용이하여 사용자 지정 애플리케이션을 사용할 수 있습니다. 또한 AST Helios는 오픈 챔버 디자인, 압력 제어 밸브, 비상 정지 버튼, 멀티 포인트 보호 시스템 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 인력, 장비 및 환경을 보호합니다. 빠른 처리 시간, 정확도, 안전 기능을 갖춘 STEAG Helios는 모든 빠른 열 프로세서 시스템에 이상적인 선택입니다. 다용도 설계, 빠른 속도, 고급 안전 기능을 갖춘 MATTSON Helios는 열 처리 어플리케이션을 보다 쉽고 생산적으로 만들 수 있습니다.
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