판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios #293593160

STEAG/MATTSON/AST Helios는 솔더링, 다이 본딩 및 에폭시 치료와 같은 제조 프로세스에 이상적인 빠른 열 프로세서입니다. 이 시스템은 중요한 어셈블리 프로세스에 탁월한 속도, 정확성, 유연성을 제공하는 전력 및 온도 조정 (Power and Temperature Adjustment) 을 초 단위로 적용할 수 있습니다. AST Helios (AST Helios) 는 실내에서 가공되는 기판을 움직이는 로봇 암이있는 단일 웨이퍼 리소그래피 프로세서입니다. 약실은 저산소 환경을 유지하기 위해 질소와 같은 비활성 가스 (inert gas) 로 채워져 있습니다. 또한, 일련의 온보드 센서는 주변 온도 및 압력을 면밀히 모니터링하고, 정확한 조정을 허용합니다. 처리 를 시작 하기 위하여 "웨이퍼 '를" 챔버' 안 에 두고 "로봇 '암 을 원하는 위치 로 옮긴다. 모니터링되는 온도 및 압력 설정이 설정되고 정밀 저항 히터가 활성화됩니다. 이 과정은 기판 전체에 균일 한 가열을 허용하고 반복 가능한 결과를 생성합니다. STEAG Helios 프로세서는 빠른 열 처리가 필요한 다양한 프로세스에 적합합니다. 예를 들어, 솔더링에서 기판은 일반적으로 몇 초 동안 최대 350 ° C 의 온도에 노출됩니다. 이것은 기판을 빠르게 냉각시키고 가열하여 빠르고 정확하고 반복 가능한 납북 공정을 통해 헬리오스 (Helios) 프로세서로 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 다이 본딩 (die bonding) 및 캡슐화 (encapsulation) 와 같은 응용 프로그램을 치료하는 데에도 사용될 수 있습니다. 일련의 적외선 방출기 (infrared emitter) 를 사용하여 전체 기질에 걸쳐 균일 한 온도를 유지하면서, 에폭시 층을 빠르게 가열하고 치료할 수 있습니다. 전반적으로 MATTSON Helios는 뛰어난 정밀 열 프로세서입니다. 납북, 다이 본딩, 에폭시 큐링 (epoxy curing) 과 같은 중요한 조립 과정과 빠른 열 어닐링과 같은 다른 단기 프로세스에 적합합니다. 온보드 센서, 빠른 열 성능 및 정밀 히터 (precision heater) 는 기판 전체에 균일 한 난방 및 온도 조절을 제공하며, 반복 가능하고 정확하며 신뢰할 수있는 결과를 보장하며, 대용량, 고밀도 생산과 관련하여 제조업체에 안심할 수 있습니다.