판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Helios 6000 #9211048

STEAG/MATTSON/AST Helios 6000은 검증된 고급 기술과 구성 요소의 고유한 조합을 사용하는 고성능 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 이 고급 산업 등급 솔루션은 반도체 웨이퍼 (wafer) 프로세스 제어 엔지니어와 빠른 열 처리가 필요한 다양한 어플리케이션 (application) 을 위해 설계되었습니다. AST Helios 6000은 넓은 작업 공간 내에서 더 빠른 프로세스 주기와 최대 균일성을 가능하게 하는 엔지니어링 된 개방형 (open-cell), 센터리스 (center-less) 서셉터 설계를 갖추고 있습니다. 결과는 최적의 처리량과 우수한 기판 가열입니다. STEAG Helios 6000 (STEAG Helios 6000) 은 또한 직접적인 디지털 피드백 및 실시간 온도 샘플링을 통해 고급 열 제어를 제공하여 반복 가능한 결과와 일관된 열 프로세스를 제공합니다. 이 장비에는 고급 단일 영역 자동 레벨 센싱 (automatic level sensing) 및 레벨 링 (leveling) 시스템이 포함되어 있어 처리 구역에서 웨이퍼가 일관되게 고정되어 뛰어난 열 균일성을 제공합니다. 또한 Helios 6000 에는 장치 작동을 완벽하게 제어하고 호스트 시스템과의 통신을 용이하게 하는 고속 디지털 I/O 서브시스템이 포함되어 있습니다. 고급 디지털 제어 (digital control) 및 피드백 (feedback) 기능을 사용하면 향상된 열 처리 매개변수를 설정하고 원격 위치에서 브라우저 기반 사용자 인터페이스를 통해 프로세스를 제어할 수 있습니다. MATTSON Helios 6000은 단순화 된 작업을 위해 직관적인 운영자 인터페이스를 갖춘 고급 통합 프로세스 제어 도구를 제공합니다. 자산의 기본 제공 레시피 및 프로세스 제어 기능을 통해 사용자는 다양한 프로세스를위한 레시피 라이브러리 (Library of 레시피) 를 저장하고 자체 사용자 정의 레시피를 개발할 수 있습니다. 이는 다른 기능들 중에서도 자동화된 레시피를 위한 무제한의 확장성과 유연성을 제공합니다. STEAG/MATTSON/AST Helios 6000은 또한 외부 시스템과의 프로세스 통합을 지원하여 문제 해결, 보고 및 기타 요구 사항을 충족합니다. AST Helios 6000은 안정성과 프로세스 반복성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 최대 8.2 "의 넓은 작업 공간 용량을 제공하며 단면 및 양면 기판 가열을 모두 지원합니다. 이 모델에는 고급 가스/흐름 조절기 (Advanced gas/flow regulator) 가 장착되어 있어 작업 공간 내에서 최적의 가스/흐름 분배를 보장하며, 미디어 배플 어셈블리는 미디어 흐름을 균등하게 분산하고 온도 균일성을 달성합니다. 전반적으로 STEAG Helios 6000은 탁월한 열 성능 및 프로세스 반복성을 제공하는, 고급적이고 안정적인 빠른 열 프로세서입니다. 강력한 아키텍처와 독보적인 설계로 다양한 애플리케이션 및 프로세스 제어 요구 사항을 충족할 수 있는 최고의 성능, 유연성, 확장성을 제공합니다 (영문).